固体电子学研究与进展
固體電子學研究與進展
고체전자학연구여진전
RESEARCH & PROGRESS OF SOLID STATE ELECTRONICS
2012年
6期
531-535
,共5页
电力半导体%门极换流晶闸管%沟槽阻挡结构%注入效率
電力半導體%門極換流晶閘管%溝槽阻擋結構%註入效率
전력반도체%문겁환류정갑관%구조조당결구%주입효솔
引入沟槽结构,提出一种改进型注入效率可控门极换流晶闸管.新结构采用沟槽型阻挡结构代替阳极表面平面型氧化薄层,实现对基区漂移电子阻挡和积累作用,保持了注入效率自调整效应,减小了平面型氧化阻挡层对阳极有效面积的影响.模拟结果表明,新结构器件实现了注入效率控制功能,增大了有效阳极接触面积并降低了通态压降；其沟槽宽度可调节注入效率和关断特性.
引入溝槽結構,提齣一種改進型註入效率可控門極換流晶閘管.新結構採用溝槽型阻擋結構代替暘極錶麵平麵型氧化薄層,實現對基區漂移電子阻擋和積纍作用,保持瞭註入效率自調整效應,減小瞭平麵型氧化阻擋層對暘極有效麵積的影響.模擬結果錶明,新結構器件實現瞭註入效率控製功能,增大瞭有效暘極接觸麵積併降低瞭通態壓降；其溝槽寬度可調節註入效率和關斷特性.
인입구조결구,제출일충개진형주입효솔가공문겁환류정갑관.신결구채용구조형조당결구대체양겁표면평면형양화박층,실현대기구표이전자조당화적루작용,보지료주입효솔자조정효응,감소료평면형양화조당층대양겁유효면적적영향.모의결과표명,신결구기건실현료주입효솔공제공능,증대료유효양겁접촉면적병강저료통태압강；기구조관도가조절주입효솔화관단특성.
