轻金属
輕金屬
경금속
LIGHT METALS
2013年
1期
68-72
,共5页
张聪%魏奎先%马文会%陈秀华%张俊峰
張聰%魏奎先%馬文會%陳秀華%張俊峰
장총%위규선%마문회%진수화%장준봉
表面改性%冶金法%多晶硅%少子寿命%电阻率
錶麵改性%冶金法%多晶硅%少子壽命%電阻率
표면개성%야금법%다정규%소자수명%전조솔
冶金法制备太阳能级多晶硅所用石墨坩埚含有不同类型的金属杂质,这些杂质通常会降低硅锭的电阻率和少于寿命等电学性能.本文研究了坩埚表面改性对冶金法多晶硅电阻率和少子寿命的影响.通过在不同冷凝速率条件下,对工业硅原料在改性前后的坩埚内提纯.经对铸锭切片的电阻率测试得出:坩埚表面改性使冶金法多晶硅锭的电阻率得到了明显的提高,电阻率的最高值由原来冷凝速率为20μ m/s时的110mΩ·cm提高列30μm/s时227mΩ·cm;经对铸锭切片的少于寿命测试得出:冶金法多晶硅的少子寿命在冷凝速率20μn/s时最高,坩埚表面改性使少子寿命由原来的0.81μs提高到1.91μs.
冶金法製備太暘能級多晶硅所用石墨坩堝含有不同類型的金屬雜質,這些雜質通常會降低硅錠的電阻率和少于壽命等電學性能.本文研究瞭坩堝錶麵改性對冶金法多晶硅電阻率和少子壽命的影響.通過在不同冷凝速率條件下,對工業硅原料在改性前後的坩堝內提純.經對鑄錠切片的電阻率測試得齣:坩堝錶麵改性使冶金法多晶硅錠的電阻率得到瞭明顯的提高,電阻率的最高值由原來冷凝速率為20μ m/s時的110mΩ·cm提高列30μm/s時227mΩ·cm;經對鑄錠切片的少于壽命測試得齣:冶金法多晶硅的少子壽命在冷凝速率20μn/s時最高,坩堝錶麵改性使少子壽命由原來的0.81μs提高到1.91μs.
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