舰船科学技术
艦船科學技術
함선과학기술
SHIP SCIENCE AND TECHNOLOGY
2014年
4期
78-81
,共4页
薛南%张国军%申辉%王万军%陈桂英%许娇
薛南%張國軍%申輝%王萬軍%陳桂英%許嬌
설남%장국군%신휘%왕만군%진계영%허교
MEMS技术%矢量水听器%Ansys仿真
MEMS技術%矢量水聽器%Ansys倣真
MEMS기술%시량수은기%Ansys방진
MEMS technology%vector hydrophone%Ansys simulation
针对当前对MEMS矢量水听器高可靠性、宽频带的迫切要求,设计了2×2单片集成阵列式MEMS矢量水听器.矢量水听器单片集成阵列化可以提高水听器一致性,大幅度降低水听器的制造成本.在理论分析的基础上,通过Ansys软件完成对阵列微敏感结构机械特性和频率特性的仿真,确定压阻惠斯通电桥的布置及连接方式.对于水听器的研究和应用有重要意义.
針對噹前對MEMS矢量水聽器高可靠性、寬頻帶的迫切要求,設計瞭2×2單片集成陣列式MEMS矢量水聽器.矢量水聽器單片集成陣列化可以提高水聽器一緻性,大幅度降低水聽器的製造成本.在理論分析的基礎上,通過Ansys軟件完成對陣列微敏感結構機械特性和頻率特性的倣真,確定壓阻惠斯通電橋的佈置及連接方式.對于水聽器的研究和應用有重要意義.
침대당전대MEMS시량수은기고가고성、관빈대적박절요구,설계료2×2단편집성진렬식MEMS시량수은기.시량수은기단편집성진렬화가이제고수은기일치성,대폭도강저수은기적제조성본.재이론분석적기출상,통과Ansys연건완성대진렬미민감결구궤계특성화빈솔특성적방진,학정압조혜사통전교적포치급련접방식.대우수은기적연구화응용유중요의의.
