传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2014年
5期
111-114,120
,共5页
蒋圣伟%师帅%袁娇娇%方靖%徐春林%汪学方
蔣聖偉%師帥%袁嬌嬌%方靖%徐春林%汪學方
장골위%사수%원교교%방정%서춘림%왕학방
石墨烯%压力传感器%拉曼光谱%膨胀试验%压力灵敏度
石墨烯%壓力傳感器%拉曼光譜%膨脹試驗%壓力靈敏度
석묵희%압력전감기%랍만광보%팽창시험%압력령민도
graphene%pressure sensors%Raman spectra%bulge test%pressure sensitivity
提出了一种适用于纳机电系统(NEMS)的悬浮石墨烯压力传感器,并结合传统微机械加工工艺提出了压力传感器的制造过程.利用拉曼光谱表征了机械剥离法得到的不同厚度的石墨烯薄膜,验证了石墨烯“G”峰与“2D”峰的强度与薄膜厚度有关.基于薄膜膨胀试验方法,给出了悬浮于矩形、方形与圆形3种空腔的石墨烯薄膜的最大变形与压差的关系,并分别计算了3种形状下薄膜的压力灵敏度,可知矩形情况下单层石墨烯薄膜的压力灵敏度最大,当矩形宽度、方形边长或圆形直径越大,薄膜厚度越小时,压力灵敏度越高,计算表明:这种压力传感器具有高灵敏度.
提齣瞭一種適用于納機電繫統(NEMS)的懸浮石墨烯壓力傳感器,併結閤傳統微機械加工工藝提齣瞭壓力傳感器的製造過程.利用拉曼光譜錶徵瞭機械剝離法得到的不同厚度的石墨烯薄膜,驗證瞭石墨烯“G”峰與“2D”峰的彊度與薄膜厚度有關.基于薄膜膨脹試驗方法,給齣瞭懸浮于矩形、方形與圓形3種空腔的石墨烯薄膜的最大變形與壓差的關繫,併分彆計算瞭3種形狀下薄膜的壓力靈敏度,可知矩形情況下單層石墨烯薄膜的壓力靈敏度最大,噹矩形寬度、方形邊長或圓形直徑越大,薄膜厚度越小時,壓力靈敏度越高,計算錶明:這種壓力傳感器具有高靈敏度.
제출료일충괄용우납궤전계통(NEMS)적현부석묵희압력전감기,병결합전통미궤계가공공예제출료압력전감기적제조과정.이용랍만광보표정료궤계박리법득도적불동후도적석묵희박막,험증료석묵희“G”봉여“2D”봉적강도여박막후도유관.기우박막팽창시험방법,급출료현부우구형、방형여원형3충공강적석묵희박막적최대변형여압차적관계,병분별계산료3충형상하박막적압력령민도,가지구형정황하단층석묵희박막적압력령민도최대,당구형관도、방형변장혹원형직경월대,박막후도월소시,압력령민도월고,계산표명:저충압력전감기구유고령민도.
