传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2014年
5期
106-110
,共5页
王婷婷%曾毅波%王盛贵%魏秀燕%毕瑞可%郭航
王婷婷%曾毅波%王盛貴%魏秀燕%畢瑞可%郭航
왕정정%증의파%왕성귀%위수연%필서가%곽항
微腔体%铷原子钟%各项异性湿法腐蚀%超声腐蚀%激光共聚焦扫描显微镜%凸角补偿
微腔體%銣原子鐘%各項異性濕法腐蝕%超聲腐蝕%激光共聚焦掃描顯微鏡%凸角補償
미강체%여원자종%각항이성습법부식%초성부식%격광공취초소묘현미경%철각보상
micro-cavity%rubidium atomic clock%anisotropic wet etching%etching under ultrasonic stirring%laser scanning confocal microscope(LSCM)%concave comer compensation
在芯片级铷原子钟中,需要微腔体来承载Rb-87滤光泡,为此,提出了一种用于制作高品质微腔体的新技术.为了获得光滑的腔体侧面和避免腐蚀过程中凸角处产生削角现象,研究中采用了超声腐蚀技术和凸角补偿技术.首先,分别在纯KOH溶液,并结合搅拌和超声等方法,对(100)硅片进行湿法腐蚀,并运用激光共聚焦扫描显微镜对腐蚀后的{111}表面进行粗糙度测量,表明运用超声腐蚀技术可以获得光滑的{111}腔体侧面.在此基础上,引入条形掩模凸角补偿方法进行微腔体腐蚀.实验结果表明:在80℃、质量分数为30％ KOH、超声频率和功率分别为59 kHz和160W的溶液中腐蚀,其{111}腐蚀表面粗糙度为0.117 μm,同时条形的长度取1200 μm时,可以获得平滑规整的微腔体.
在芯片級銣原子鐘中,需要微腔體來承載Rb-87濾光泡,為此,提齣瞭一種用于製作高品質微腔體的新技術.為瞭穫得光滑的腔體側麵和避免腐蝕過程中凸角處產生削角現象,研究中採用瞭超聲腐蝕技術和凸角補償技術.首先,分彆在純KOH溶液,併結閤攪拌和超聲等方法,對(100)硅片進行濕法腐蝕,併運用激光共聚焦掃描顯微鏡對腐蝕後的{111}錶麵進行粗糙度測量,錶明運用超聲腐蝕技術可以穫得光滑的{111}腔體側麵.在此基礎上,引入條形掩模凸角補償方法進行微腔體腐蝕.實驗結果錶明:在80℃、質量分數為30％ KOH、超聲頻率和功率分彆為59 kHz和160W的溶液中腐蝕,其{111}腐蝕錶麵粗糙度為0.117 μm,同時條形的長度取1200 μm時,可以穫得平滑規整的微腔體.
재심편급여원자종중,수요미강체래승재Rb-87려광포,위차,제출료일충용우제작고품질미강체적신기술.위료획득광활적강체측면화피면부식과정중철각처산생삭각현상,연구중채용료초성부식기술화철각보상기술.수선,분별재순KOH용액,병결합교반화초성등방법,대(100)규편진행습법부식,병운용격광공취초소묘현미경대부식후적{111}표면진행조조도측량,표명운용초성부식기술가이획득광활적{111}강체측면.재차기출상,인입조형엄모철각보상방법진행미강체부식.실험결과표명:재80℃、질량분수위30％ KOH、초성빈솔화공솔분별위59 kHz화160W적용액중부식,기{111}부식표면조조도위0.117 μm,동시조형적장도취1200 μm시,가이획득평활규정적미강체.
