传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2014年
5期
77-79,83
,共4页
铁电陶瓷%低温共烧陶瓷%无源%电容式温度传感器%恶劣环境
鐵電陶瓷%低溫共燒陶瓷%無源%電容式溫度傳感器%噁劣環境
철전도자%저온공소도자%무원%전용식온도전감기%악렬배경
ferroelectric ceramic%LTCC%passive%capacitive temperature sensor%harsh environment
为了实现高温、机械旋转和密闭空间等恶劣环境中的原位温度测量,以高居里点的铁电陶瓷为温度敏感介质材料,在传统低温共烧陶瓷(LTCC)工艺的基础上,采用牺牲层填充技术,保证了制备过程的工艺兼容性,成功制备出了一种基于LTCC衬底的新型无源电容式温度传感器.通过外部读取天线与传感器线圈的互感耦合,实现了从常温至700℃的传感器温度特性测试,测试结果表明:这种电容式温度传感器具有良好的温度敏感特性,其平均灵敏度为-7.33 kHz/℃.
為瞭實現高溫、機械鏇轉和密閉空間等噁劣環境中的原位溫度測量,以高居裏點的鐵電陶瓷為溫度敏感介質材料,在傳統低溫共燒陶瓷(LTCC)工藝的基礎上,採用犧牲層填充技術,保證瞭製備過程的工藝兼容性,成功製備齣瞭一種基于LTCC襯底的新型無源電容式溫度傳感器.通過外部讀取天線與傳感器線圈的互感耦閤,實現瞭從常溫至700℃的傳感器溫度特性測試,測試結果錶明:這種電容式溫度傳感器具有良好的溫度敏感特性,其平均靈敏度為-7.33 kHz/℃.
위료실현고온、궤계선전화밀폐공간등악렬배경중적원위온도측량,이고거리점적철전도자위온도민감개질재료,재전통저온공소도자(LTCC)공예적기출상,채용희생층전충기술,보증료제비과정적공예겸용성,성공제비출료일충기우LTCC츤저적신형무원전용식온도전감기.통과외부독취천선여전감기선권적호감우합,실현료종상온지700℃적전감기온도특성측시,측시결과표명:저충전용식온도전감기구유량호적온도민감특성,기평균령민도위-7.33 kHz/℃.
