传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2014年
5期
69-72
,共4页
杨明亮%谭秋林%熊继军%康昊%李晨
楊明亮%譚鞦林%熊繼軍%康昊%李晨
양명량%담추림%웅계군%강호%리신
低温共烧陶瓷%无线无源%无线检测%平面螺旋电感%平行板电容器
低溫共燒陶瓷%無線無源%無線檢測%平麵螺鏇電感%平行闆電容器
저온공소도자%무선무원%무선검측%평면라선전감%평행판전용기
low temperature co-fired ceramic (LTCC)%wireless passive%wireless detection%planar spiral inductor%parallel plate capacitor
设计一种基于低温共烧陶瓷(LTCC)的无线无源压力传感器.电感器和电容器并联组成的LC谐振回路构成传感器的工作电路,采用厚膜工艺完成了平面螺旋电感器和平行板电容器的制备.传感器利用LC谐振回路的谐振频率对不同压力的响应来表征传感器的应变特性,采用2个电感耦合的方式来实现无线检测.测试结果显示:传感器的谐振频率随外加压力的增大而减小,其谐振频率变化对压力的响应灵敏度约为331.70 kHz/bar.
設計一種基于低溫共燒陶瓷(LTCC)的無線無源壓力傳感器.電感器和電容器併聯組成的LC諧振迴路構成傳感器的工作電路,採用厚膜工藝完成瞭平麵螺鏇電感器和平行闆電容器的製備.傳感器利用LC諧振迴路的諧振頻率對不同壓力的響應來錶徵傳感器的應變特性,採用2箇電感耦閤的方式來實現無線檢測.測試結果顯示:傳感器的諧振頻率隨外加壓力的增大而減小,其諧振頻率變化對壓力的響應靈敏度約為331.70 kHz/bar.
설계일충기우저온공소도자(LTCC)적무선무원압력전감기.전감기화전용기병련조성적LC해진회로구성전감기적공작전로,채용후막공예완성료평면라선전감기화평행판전용기적제비.전감기이용LC해진회로적해진빈솔대불동압력적향응래표정전감기적응변특성,채용2개전감우합적방식래실현무선검측.측시결과현시:전감기적해진빈솔수외가압력적증대이감소,기해진빈솔변화대압력적향응령민도약위331.70 kHz/bar.
