机械工程学报
機械工程學報
궤계공정학보
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING
2014年
8期
165-173
,共9页
工作台%运动控制%关键问题%精度实现
工作檯%運動控製%關鍵問題%精度實現
공작태%운동공제%관건문제%정도실현
stage%motion control%key points%precision realization
100 nm步进扫描投影光刻机是我国攻关研究的主流机型,工作台是实现其超精密性能的核心子系统.光刻机工作台采用粗、微复合的运动结构,其同步最大运动平均误差(＜5 nm)和同步最大运动标准偏差(＜12 nm)等性能指标对运动控制系统提出严苛要求.分析硅片台与掩模台的结构特点,提出了运动控制系统中保证精度实现的组成单元,分别论述轨迹规划、测量系统、控制策略单元等的工作机理与实现特点;为进一步提高运动控制精度,分析工作台可能受到的扰动因素,提出相应的补偿控制策略,探讨运动控制中各环节的参数校准策略.综合论述步进扫描投影型光刻机工作台运动控制中的关键问题,并提出相应的实现与解决方法,可为实际光刻设备超高精度的实现提供指导.
100 nm步進掃描投影光刻機是我國攻關研究的主流機型,工作檯是實現其超精密性能的覈心子繫統.光刻機工作檯採用粗、微複閤的運動結構,其同步最大運動平均誤差(＜5 nm)和同步最大運動標準偏差(＜12 nm)等性能指標對運動控製繫統提齣嚴苛要求.分析硅片檯與掩模檯的結構特點,提齣瞭運動控製繫統中保證精度實現的組成單元,分彆論述軌跡規劃、測量繫統、控製策略單元等的工作機理與實現特點;為進一步提高運動控製精度,分析工作檯可能受到的擾動因素,提齣相應的補償控製策略,探討運動控製中各環節的參數校準策略.綜閤論述步進掃描投影型光刻機工作檯運動控製中的關鍵問題,併提齣相應的實現與解決方法,可為實際光刻設備超高精度的實現提供指導.
100 nm보진소묘투영광각궤시아국공관연구적주류궤형,공작태시실현기초정밀성능적핵심자계통.광각궤공작태채용조、미복합적운동결구,기동보최대운동평균오차(＜5 nm)화동보최대운동표준편차(＜12 nm)등성능지표대운동공제계통제출엄가요구.분석규편태여엄모태적결구특점,제출료운동공제계통중보증정도실현적조성단원,분별논술궤적규화、측량계통、공제책략단원등적공작궤리여실현특점;위진일보제고운동공제정도,분석공작태가능수도적우동인소,제출상응적보상공제책략,탐토운동공제중각배절적삼수교준책략.종합논술보진소묘투영형광각궤공작태운동공제중적관건문제,병제출상응적실현여해결방법,가위실제광각설비초고정도적실현제공지도.
