厦门大学学报（自然科学版）
廈門大學學報（自然科學版）
하문대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF XIAMEN UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE)
2013年
4期
506-511
,共6页
郭建来%刘畅%王建艳%林杰%郭航
郭建來%劉暢%王建豔%林傑%郭航
곽건래%류창%왕건염%림걸%곽항
微机械圆盘谐振器%集总参数模型%有限元%锚点%品质因子%高阶谐振模式
微機械圓盤諧振器%集總參數模型%有限元%錨點%品質因子%高階諧振模式
미궤계원반해진기%집총삼수모형%유한원%묘점%품질인자%고계해진모식
disk micromechanical resonator%lumped parameter model%FEM%anchor%quality factor%higher order vibration mode
运用ANSYS对圆盘谐振器的结构进行有限元分析,并结合集总参数模型,确定了圆盘谐振器锚点尺寸与位置对圆盘谐振器性能的影响,包括谐振频率,振幅与品质因子(Q).在此基础上,提出了一种在圆盘谐振器高阶模式的节点环处做锚点的方案,不仅可以使圆盘谐振器工作在更高的谐振频率,同时也降低了微加工精度的要求.
運用ANSYS對圓盤諧振器的結構進行有限元分析,併結閤集總參數模型,確定瞭圓盤諧振器錨點呎吋與位置對圓盤諧振器性能的影響,包括諧振頻率,振幅與品質因子(Q).在此基礎上,提齣瞭一種在圓盤諧振器高階模式的節點環處做錨點的方案,不僅可以使圓盤諧振器工作在更高的諧振頻率,同時也降低瞭微加工精度的要求.
운용ANSYS대원반해진기적결구진행유한원분석,병결합집총삼수모형,학정료원반해진기묘점척촌여위치대원반해진기성능적영향,포괄해진빈솔,진폭여품질인자(Q).재차기출상,제출료일충재원반해진기고계모식적절점배처주묘점적방안,불부가이사원반해진기공작재경고적해진빈솔,동시야강저료미가공정도적요구.
