高电压技术
高電壓技術
고전압기술
HIGH VOLTAGE ENGINEERING
2013年
7期
1596-1601
,共6页
金锋%焉迪%王志斌%李和平%葛楠%包成玉
金鋒%焉迪%王誌斌%李和平%葛楠%包成玉
금봉%언적%왕지빈%리화평%갈남%포성옥
大气压等离子体%射频辉光放电%等效阻抗%电路模型%电子数密度%阻抗匹配
大氣壓等離子體%射頻輝光放電%等效阻抗%電路模型%電子數密度%阻抗匹配
대기압등리자체%사빈휘광방전%등효조항%전로모형%전자수밀도%조항필배
atmospheric pressure plasma%radio-frequency glow discharge%equivalent impedance%circuit model%electron number density%impedance matching
为研究大气压射频辉光放电过程中不同工作气体(氦气和氩气)对发生器等效阻抗的影响,基于等离子体的介电特性,建立了描述等离子体区域的“电阻-电容混联”等效电路模型;通过实验测量放电电压及电流,并基于等效电路模型来计算等离子体在放电过程中的电子数密度,从而得到等离子体发生器的等效阻抗.实验测量了大气压射频辉光放电的放电电压及电流,并基于等效电路模型得到了等离子体发生器的等效阻抗及放电区的电子数密度.实验结果表明:对氦气和氩气放电,在α放电模式下其电阻及电抗的绝对值均随着放电电流的增加而减小,而电子数密度则随放电电流的增大而线性增加;且在相同的放电电流条件下,氩等离子体的电阻和电容都比氦等离子体高.研究结论可作为等离子体在不同工作气体条件下放电阻抗匹配研究的参考.
為研究大氣壓射頻輝光放電過程中不同工作氣體(氦氣和氬氣)對髮生器等效阻抗的影響,基于等離子體的介電特性,建立瞭描述等離子體區域的“電阻-電容混聯”等效電路模型;通過實驗測量放電電壓及電流,併基于等效電路模型來計算等離子體在放電過程中的電子數密度,從而得到等離子體髮生器的等效阻抗.實驗測量瞭大氣壓射頻輝光放電的放電電壓及電流,併基于等效電路模型得到瞭等離子體髮生器的等效阻抗及放電區的電子數密度.實驗結果錶明:對氦氣和氬氣放電,在α放電模式下其電阻及電抗的絕對值均隨著放電電流的增加而減小,而電子數密度則隨放電電流的增大而線性增加;且在相同的放電電流條件下,氬等離子體的電阻和電容都比氦等離子體高.研究結論可作為等離子體在不同工作氣體條件下放電阻抗匹配研究的參攷.
위연구대기압사빈휘광방전과정중불동공작기체(양기화아기)대발생기등효조항적영향,기우등리자체적개전특성,건립료묘술등리자체구역적“전조-전용혼련”등효전로모형;통과실험측량방전전압급전류,병기우등효전로모형래계산등리자체재방전과정중적전자수밀도,종이득도등리자체발생기적등효조항.실험측량료대기압사빈휘광방전적방전전압급전류,병기우등효전로모형득도료등리자체발생기적등효조항급방전구적전자수밀도.실험결과표명:대양기화아기방전,재α방전모식하기전조급전항적절대치균수착방전전류적증가이감소,이전자수밀도칙수방전전류적증대이선성증가;차재상동적방전전류조건하,아등리자체적전조화전용도비양등리자체고.연구결론가작위등리자체재불동공작기체조건하방전조항필배연구적삼고.
