材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2013年
14期
151-154
,共4页
武良龙%龙士国%马增胜%杨林
武良龍%龍士國%馬增勝%楊林
무량룡%룡사국%마증성%양림
鼓包法%界面结合能%内聚力
鼓包法%界麵結閤能%內聚力
고포법%계면결합능%내취력
blister test%adhesion strength%cohesive element
薄膜材料的应用范围越来越广泛,薄膜材料的界面结合能对其使用过程具有重要影响.鼓包法是测量薄膜材料界面结合能的一种重要的方法.通过有限元软件ABAQUS模拟鼓包实验,并用ABAQUS中的内聚力模型表征薄膜与基底之间的界面性能,最终得到薄膜材料的界面结合能.计算结果表明:薄膜开裂时的压强和挠度的乘积与界面结合能呈线性关系,且斜率随鼓包模型的孔径变化而变化.通过不同孔径下的模拟最后得到Ni薄膜界面结合能的表达式,且表达式中的参数在实验过程中简单易测.
薄膜材料的應用範圍越來越廣汎,薄膜材料的界麵結閤能對其使用過程具有重要影響.鼓包法是測量薄膜材料界麵結閤能的一種重要的方法.通過有限元軟件ABAQUS模擬鼓包實驗,併用ABAQUS中的內聚力模型錶徵薄膜與基底之間的界麵性能,最終得到薄膜材料的界麵結閤能.計算結果錶明:薄膜開裂時的壓彊和撓度的乘積與界麵結閤能呈線性關繫,且斜率隨鼓包模型的孔徑變化而變化.通過不同孔徑下的模擬最後得到Ni薄膜界麵結閤能的錶達式,且錶達式中的參數在實驗過程中簡單易測.
박막재료적응용범위월래월엄범,박막재료적계면결합능대기사용과정구유중요영향.고포법시측량박막재료계면결합능적일충중요적방법.통과유한원연건ABAQUS모의고포실험,병용ABAQUS중적내취력모형표정박막여기저지간적계면성능,최종득도박막재료적계면결합능.계산결과표명:박막개렬시적압강화뇨도적승적여계면결합능정선성관계,차사솔수고포모형적공경변화이변화.통과불동공경하적모의최후득도Ni박막계면결합능적표체식,차표체식중적삼수재실험과정중간단역측.
