浙江工业大学学报
浙江工業大學學報
절강공업대학학보
Journal of Zhejiang University of Technology
2013年
2期
204-209
,共6页
郑晓华%寇云峰%张继%宋建强%宋仁国
鄭曉華%寇雲峰%張繼%宋建彊%宋仁國
정효화%구운봉%장계%송건강%송인국
薄膜%氮化铝%脉冲激光沉积%正交试验%沉积气压
薄膜%氮化鋁%脈遲激光沉積%正交試驗%沉積氣壓
박막%담화려%맥충격광침적%정교시험%침적기압
采用脉冲激光沉积(PLD)方法在单晶Si衬底上制备AlN薄膜.利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)对薄膜的形貌和微观结构进行了分析；采用显微硬度仪、球-盘式磨损试验机和涂层自动划痕仪测试了薄膜的机械性能.通过正交实验,分析了工艺参数与AlN薄膜硬度之间的关系,得出沉积气压是对薄膜硬度影响大的因素,并研究了沉积气压对AlN薄膜表面形貌、微观结构、沉积速率、硬度、结合力和摩擦性能的影响.实验结果表明:所制备的薄膜均为非晶结构,随着沉积气压的上升,薄膜沉积速率降低,薄膜表面粗糙度降低,摩擦系数变小,当气压由0.1Pa增加到1 Pa时,薄膜的硬度和耐磨性提高,但是随着气压进一步增大,其硬度和耐磨性下降.
採用脈遲激光沉積(PLD)方法在單晶Si襯底上製備AlN薄膜.利用掃描電子顯微鏡(SEM)、X射線衍射儀(XRD)對薄膜的形貌和微觀結構進行瞭分析；採用顯微硬度儀、毬-盤式磨損試驗機和塗層自動劃痕儀測試瞭薄膜的機械性能.通過正交實驗,分析瞭工藝參數與AlN薄膜硬度之間的關繫,得齣沉積氣壓是對薄膜硬度影響大的因素,併研究瞭沉積氣壓對AlN薄膜錶麵形貌、微觀結構、沉積速率、硬度、結閤力和摩抆性能的影響.實驗結果錶明:所製備的薄膜均為非晶結構,隨著沉積氣壓的上升,薄膜沉積速率降低,薄膜錶麵粗糙度降低,摩抆繫數變小,噹氣壓由0.1Pa增加到1 Pa時,薄膜的硬度和耐磨性提高,但是隨著氣壓進一步增大,其硬度和耐磨性下降.
채용맥충격광침적(PLD)방법재단정Si츤저상제비AlN박막.이용소묘전자현미경(SEM)、X사선연사의(XRD)대박막적형모화미관결구진행료분석；채용현미경도의、구-반식마손시험궤화도층자동화흔의측시료박막적궤계성능.통과정교실험,분석료공예삼수여AlN박막경도지간적관계,득출침적기압시대박막경도영향대적인소,병연구료침적기압대AlN박막표면형모、미관결구、침적속솔、경도、결합력화마찰성능적영향.실험결과표명:소제비적박막균위비정결구,수착침적기압적상승,박막침적속솔강저,박막표면조조도강저,마찰계수변소,당기압유0.1Pa증가도1 Pa시,박막적경도화내마성제고,단시수착기압진일보증대,기경도화내마성하강.
