中国非金属矿工业导刊
中國非金屬礦工業導刊
중국비금속광공업도간
CHINA NON-METALLIC MINING INDUSTRY HERALD
2013年
2期
35-36
,共2页
Ar/O2流量比%掺锌TiO2薄膜%磁控溅射%超亲水性能
Ar/O2流量比%摻鋅TiO2薄膜%磁控濺射%超親水性能
Ar/O2류량비%참자TiO2박막%자공천사%초친수성능
采用射频磁控溅射法制备掺锌二氧化钛薄膜,控制溅射时间为2h,溅射功率为100W,500℃退火2h不变的情况下,研究不同的Ar/O2流量比对掺锌TiO2薄膜亲水性能的影响.试验结果表明:在无退火的情况下Ar/O2为3∶7的光致亲水性能较好,而退火能够改善薄膜的亲水性能,当Ar/O2为4∶6时,所制备的薄膜光致亲水性能最稳定.
採用射頻磁控濺射法製備摻鋅二氧化鈦薄膜,控製濺射時間為2h,濺射功率為100W,500℃退火2h不變的情況下,研究不同的Ar/O2流量比對摻鋅TiO2薄膜親水性能的影響.試驗結果錶明:在無退火的情況下Ar/O2為3∶7的光緻親水性能較好,而退火能夠改善薄膜的親水性能,噹Ar/O2為4∶6時,所製備的薄膜光緻親水性能最穩定.
채용사빈자공천사법제비참자이양화태박막,공제천사시간위2h,천사공솔위100W,500℃퇴화2h불변적정황하,연구불동적Ar/O2류량비대참자TiO2박막친수성능적영향.시험결과표명:재무퇴화적정황하Ar/O2위3∶7적광치친수성능교호,이퇴화능구개선박막적친수성능,당Ar/O2위4∶6시,소제비적박막광치친수성능최은정.
