烟台大学学报（自然科学与工程版）
煙檯大學學報（自然科學與工程版）
연태대학학보（자연과학여공정판）
JOURNAL OF YANTAI UNIVERSITY（NATURAL SCIENCE AND ENGINEERING EDITION）
2013年
2期
97-100
,共4页
徐大印%杨咏东%何志巍%李剑平%吴现成
徐大印%楊詠東%何誌巍%李劍平%吳現成
서대인%양영동%하지외%리검평%오현성
磁控溅射%氧化铝模板%SiC%光致发光
磁控濺射%氧化鋁模闆%SiC%光緻髮光
자공천사%양화려모판%SiC%광치발광
用二次阳极氧化法制备了高质量的氧化铝模板,用磁控溅射法在氧化铝模板上溅射生长了非晶SiC材料.原子力显微镜结果显示,在不同的溅射气压下(0.5～1.5 Pa),能够形成层状、点状和棒状的SiC纳米结构.光致发光谱显示,在550 ～ 700 nm之间有一个很强的发光峰,随着生长条件的改变,这个发光峰的强度有显著的变化.分析了纳米结构的形成、发光峰的变化与制备条件的关系.
用二次暘極氧化法製備瞭高質量的氧化鋁模闆,用磁控濺射法在氧化鋁模闆上濺射生長瞭非晶SiC材料.原子力顯微鏡結果顯示,在不同的濺射氣壓下(0.5～1.5 Pa),能夠形成層狀、點狀和棒狀的SiC納米結構.光緻髮光譜顯示,在550 ～ 700 nm之間有一箇很彊的髮光峰,隨著生長條件的改變,這箇髮光峰的彊度有顯著的變化.分析瞭納米結構的形成、髮光峰的變化與製備條件的關繫.
용이차양겁양화법제비료고질량적양화려모판,용자공천사법재양화려모판상천사생장료비정SiC재료.원자력현미경결과현시,재불동적천사기압하(0.5～1.5 Pa),능구형성층상、점상화봉상적SiC납미결구.광치발광보현시,재550 ～ 700 nm지간유일개흔강적발광봉,수착생장조건적개변,저개발광봉적강도유현저적변화.분석료납미결구적형성、발광봉적변화여제비조건적관계.
