佛山科学技术学院学报（自然科学版）
彿山科學技術學院學報（自然科學版）
불산과학기술학원학보（자연과학판）
JOURNAL OF FOSHAN UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2013年
2期
58-61
,共4页
白光干涉%微齿轮%几何特征检测
白光榦涉%微齒輪%幾何特徵檢測
백광간섭%미치륜%궤하특정검측
将垂直扫描白光干涉(VSI)测量方法应用于微齿轮的几何特性检测中,该方法具有非接触、大量程、高精度、高效率等特点,水平分辨力为亚微米级,垂直分辨力可以达到纳米量级,并通过Hilbert变换法提取包络峰值来恢复被测表面的三维形貌尺寸.研究结果表明,垂直扫描白光干涉测量方法能够实现微齿轮几何特性的检测,满足设计中提出的精度要求.
將垂直掃描白光榦涉(VSI)測量方法應用于微齒輪的幾何特性檢測中,該方法具有非接觸、大量程、高精度、高效率等特點,水平分辨力為亞微米級,垂直分辨力可以達到納米量級,併通過Hilbert變換法提取包絡峰值來恢複被測錶麵的三維形貌呎吋.研究結果錶明,垂直掃描白光榦涉測量方法能夠實現微齒輪幾何特性的檢測,滿足設計中提齣的精度要求.
장수직소묘백광간섭(VSI)측량방법응용우미치륜적궤하특성검측중,해방법구유비접촉、대량정、고정도、고효솔등특점,수평분변력위아미미급,수직분변력가이체도납미량급,병통과Hilbert변환법제취포락봉치래회복피측표면적삼유형모척촌.연구결과표명,수직소묘백광간섭측량방법능구실현미치륜궤하특성적검측,만족설계중제출적정도요구.
