光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2013年
4期
955-962
,共8页
居志兰%朱永伟%王建彬%樊吉龙%李军
居誌蘭%硃永偉%王建彬%樊吉龍%李軍
거지란%주영위%왕건빈%번길룡%리군
抛光介质%固结磨料%化学机械抛光%软化层%显微硬度%材料去除速率
拋光介質%固結磨料%化學機械拋光%軟化層%顯微硬度%材料去除速率
포광개질%고결마료%화학궤계포광%연화층%현미경도%재료거제속솔
在固结磨料化学机械抛光中,工件表面与抛光介质易发生水解反应,产生软化层,而软化层厚度直接影响材料去除速率及表面质量.本文采用显微硬度计测量了不同介质条件下水晶表面的变质层厚度,并基于CP-4研磨抛光平台研究了不同抛光介质及温度对材料去除速率的影响,进而在线测量了抛光过程中声发射信号及抛光垫与工件之间摩擦系数的变化.结果表明:六偏磷酸钠的加入可促进水晶玻璃表层网络结构断裂,软化表层,软化层厚度随着浸泡时间、温度升高而增加,进而提高了水晶玻璃的去除率；而且随着温度升高,水解作用更加明显.实验显示,声发射信号及摩擦系数实时测量对抛光工艺参数的优化具有指导意义.
在固結磨料化學機械拋光中,工件錶麵與拋光介質易髮生水解反應,產生軟化層,而軟化層厚度直接影響材料去除速率及錶麵質量.本文採用顯微硬度計測量瞭不同介質條件下水晶錶麵的變質層厚度,併基于CP-4研磨拋光平檯研究瞭不同拋光介質及溫度對材料去除速率的影響,進而在線測量瞭拋光過程中聲髮射信號及拋光墊與工件之間摩抆繫數的變化.結果錶明:六偏燐痠鈉的加入可促進水晶玻璃錶層網絡結構斷裂,軟化錶層,軟化層厚度隨著浸泡時間、溫度升高而增加,進而提高瞭水晶玻璃的去除率；而且隨著溫度升高,水解作用更加明顯.實驗顯示,聲髮射信號及摩抆繫數實時測量對拋光工藝參數的優化具有指導意義.
재고결마료화학궤계포광중,공건표면여포광개질역발생수해반응,산생연화층,이연화층후도직접영향재료거제속솔급표면질량.본문채용현미경도계측량료불동개질조건하수정표면적변질층후도,병기우CP-4연마포광평태연구료불동포광개질급온도대재료거제속솔적영향,진이재선측량료포광과정중성발사신호급포광점여공건지간마찰계수적변화.결과표명:륙편린산납적가입가촉진수정파리표층망락결구단렬,연화표층,연화층후도수착침포시간、온도승고이증가,진이제고료수정파리적거제솔；이차수착온도승고,수해작용경가명현.실험현시,성발사신호급마찰계수실시측량대포광공예삼수적우화구유지도의의.
