材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2013年
8期
28-31,39
,共5页
梁建%马淑芳%赵君芙%许并社
樑建%馬淑芳%趙君芙%許併社
량건%마숙방%조군부%허병사
低压化学气相沉积%TiO2薄膜%表面形貌%光催化
低壓化學氣相沉積%TiO2薄膜%錶麵形貌%光催化
저압화학기상침적%TiO2박막%표면형모%광최화
采用简单易行的低压化学气相沉积法(LPCVD)在GaAs、Si和玻璃衬底上沉积了TiO2薄膜,通过HRXRD、FESEM、EDS等手段对薄膜进行表征,结果表明基片对薄膜的晶相和微观形貌有明显的影响.薄膜的光催化实验结果显示,在可见光的照射下,分解甲基橙溶液时,砷化镓基和硅基TiO2薄膜表现出更强的光催化活性.并探讨了基片对薄膜晶相、微观形貌、光催化活性的影响.
採用簡單易行的低壓化學氣相沉積法(LPCVD)在GaAs、Si和玻璃襯底上沉積瞭TiO2薄膜,通過HRXRD、FESEM、EDS等手段對薄膜進行錶徵,結果錶明基片對薄膜的晶相和微觀形貌有明顯的影響.薄膜的光催化實驗結果顯示,在可見光的照射下,分解甲基橙溶液時,砷化鎵基和硅基TiO2薄膜錶現齣更彊的光催化活性.併探討瞭基片對薄膜晶相、微觀形貌、光催化活性的影響.
채용간단역행적저압화학기상침적법(LPCVD)재GaAs、Si화파리츤저상침적료TiO2박막,통과HRXRD、FESEM、EDS등수단대박막진행표정,결과표명기편대박막적정상화미관형모유명현적영향.박막적광최화실험결과현시,재가견광적조사하,분해갑기등용액시,신화가기화규기TiO2박막표현출경강적광최화활성.병탐토료기편대박막정상、미관형모、광최화활성적영향.
