氯碱工业
氯堿工業
록감공업
CHLOR-ALKALI INDUSTRY
2013年
6期
26-28,30
,共4页
马卓煌%宋东明%陈丽娟%潘红星%朱明
馬卓煌%宋東明%陳麗娟%潘紅星%硃明
마탁황%송동명%진려연%반홍성%주명
多晶硅%改良西门子法%热氢化反应%正交设计%工艺参数
多晶硅%改良西門子法%熱氫化反應%正交設計%工藝參數
다정규%개량서문자법%열경화반응%정교설계%공예삼수
介绍了改良西门子法多晶硅生产工艺.利用Aspen Plus对改良西门子法中的热氢化反应进行模拟,研究了反应温度、反应压力和进料配比对三氯氢硅收率的影响,得出进料配比是影响三氯氢硅收率最重要的因素,并运用正交设计的方法找出最优工艺参数,从而指导实际生产.
介紹瞭改良西門子法多晶硅生產工藝.利用Aspen Plus對改良西門子法中的熱氫化反應進行模擬,研究瞭反應溫度、反應壓力和進料配比對三氯氫硅收率的影響,得齣進料配比是影響三氯氫硅收率最重要的因素,併運用正交設計的方法找齣最優工藝參數,從而指導實際生產.
개소료개량서문자법다정규생산공예.이용Aspen Plus대개량서문자법중적열경화반응진행모의,연구료반응온도、반응압력화진료배비대삼록경규수솔적영향,득출진료배비시영향삼록경규수솔최중요적인소,병운용정교설계적방법조출최우공예삼수,종이지도실제생산.
