系统工程理论与实践
繫統工程理論與實踐
계통공정이론여실천
SYSTEMS ENGINEERING--THEORY & PRACTICE
2012年
8期
1831-1840
,共10页
自动化组合设备%eM-Plant%建模与仿真%调度
自動化組閤設備%eM-Plant%建模與倣真%調度
자동화조합설비%eM-Plant%건모여방진%조도
由于大直径晶圆的加工具有严格的逗留时间约束和时间波动,使得组合设备的调度及其可行性的验证存在很大的困难,而仿真是一个有效的方法.如果组合设备的调度存在可行性,那么,通过仿真能够找到系统的可行调度.利用eM-Plant建立了虚拟的单臂组合设备,该系统是可重配置的.不同类型的晶圆加工具有不同的晶圆流模式和加工时间,该虚拟组合设备能够模拟不同的晶圆加工,而参数化的虚拟组合设备实现了可重用性.为了实现可视化,建立了三维模型的虚拟组合设备.对于操作组合设备的工程人员来说,该系统是直观和有效的.最后,通过例子验证了虚拟组合设备是可行的.
由于大直徑晶圓的加工具有嚴格的逗留時間約束和時間波動,使得組閤設備的調度及其可行性的驗證存在很大的睏難,而倣真是一箇有效的方法.如果組閤設備的調度存在可行性,那麽,通過倣真能夠找到繫統的可行調度.利用eM-Plant建立瞭虛擬的單臂組閤設備,該繫統是可重配置的.不同類型的晶圓加工具有不同的晶圓流模式和加工時間,該虛擬組閤設備能夠模擬不同的晶圓加工,而參數化的虛擬組閤設備實現瞭可重用性.為瞭實現可視化,建立瞭三維模型的虛擬組閤設備.對于操作組閤設備的工程人員來說,該繫統是直觀和有效的.最後,通過例子驗證瞭虛擬組閤設備是可行的.
유우대직경정원적가공구유엄격적두류시간약속화시간파동,사득조합설비적조도급기가행성적험증존재흔대적곤난,이방진시일개유효적방법.여과조합설비적조도존재가행성,나요,통과방진능구조도계통적가행조도.이용eM-Plant건립료허의적단비조합설비,해계통시가중배치적.불동류형적정원가공구유불동적정원류모식화가공시간,해허의조합설비능구모의불동적정원가공,이삼수화적허의조합설비실현료가중용성.위료실현가시화,건립료삼유모형적허의조합설비.대우조작조합설비적공정인원래설,해계통시직관화유효적.최후,통과례자험증료허의조합설비시가행적.
