激光与红外
激光與紅外
격광여홍외
LASER & INFRARED
2013年
1期
19-23
,共5页
周广福%戴玉堂%胡华东%李涛%曹靳
週廣福%戴玉堂%鬍華東%李濤%曹靳
주엄복%대옥당%호화동%리도%조근
飞秒脉冲激光%石英光纤%三维微结构%光纤传感器
飛秒脈遲激光%石英光纖%三維微結構%光纖傳感器
비초맥충격광%석영광섬%삼유미결구%광섬전감기
为适应新型光纤传感器件的需要,进行了飞秒激光在石英光纤材料上制备三维微结构的工艺探讨.实验结果表明,光纤的烧蚀阈值约为1.5 J/cm2,烧蚀孔的深度与能量对数基本上符合线性关系.在一定条件下,适当的增加激光能量有利于改善微孔的垂直度.理论分析了锥孔和直孔的成形机理,探讨了微孔内壁形貌的形成机制和加工过程中光纤背面出现的崩碎现象.采用适当的加工工艺,试制了光纤F-P腔、光纤端部悬臂梁等三维微结构.
為適應新型光纖傳感器件的需要,進行瞭飛秒激光在石英光纖材料上製備三維微結構的工藝探討.實驗結果錶明,光纖的燒蝕閾值約為1.5 J/cm2,燒蝕孔的深度與能量對數基本上符閤線性關繫.在一定條件下,適噹的增加激光能量有利于改善微孔的垂直度.理論分析瞭錐孔和直孔的成形機理,探討瞭微孔內壁形貌的形成機製和加工過程中光纖揹麵齣現的崩碎現象.採用適噹的加工工藝,試製瞭光纖F-P腔、光纖耑部懸臂樑等三維微結構.
위괄응신형광섬전감기건적수요,진행료비초격광재석영광섬재료상제비삼유미결구적공예탐토.실험결과표명,광섬적소식역치약위1.5 J/cm2,소식공적심도여능량대수기본상부합선성관계.재일정조건하,괄당적증가격광능량유리우개선미공적수직도.이론분석료추공화직공적성형궤리,탐토료미공내벽형모적형성궤제화가공과정중광섬배면출현적붕쇄현상.채용괄당적가공공예,시제료광섬F-P강、광섬단부현비량등삼유미결구.
