激光与红外
激光與紅外
격광여홍외
LASER & INFRARED
2013年
1期
14-18
,共5页
顾理%孙会来%于楷%赵方方
顧理%孫會來%于楷%趙方方
고리%손회래%우해%조방방
飞秒激光%微加工%烧蚀%双光子聚合
飛秒激光%微加工%燒蝕%雙光子聚閤
비초격광%미가공%소식%쌍광자취합
综述了近年来国内外利用飞秒激光微加工的研究进展.飞秒激光脉冲作为材料微纳加工的一项工具,已经从实验室进入到工业化阶段.介绍了飞秒激光在微纳加工领域的一些研究情况,分别就飞秒激光烧蚀微加工以及双光子聚合加工进行了阐述.最后分析了飞秒激光微加工目前存在的问题及未来发展的主要方向.
綜述瞭近年來國內外利用飛秒激光微加工的研究進展.飛秒激光脈遲作為材料微納加工的一項工具,已經從實驗室進入到工業化階段.介紹瞭飛秒激光在微納加工領域的一些研究情況,分彆就飛秒激光燒蝕微加工以及雙光子聚閤加工進行瞭闡述.最後分析瞭飛秒激光微加工目前存在的問題及未來髮展的主要方嚮.
종술료근년래국내외이용비초격광미가공적연구진전.비초격광맥충작위재료미납가공적일항공구,이경종실험실진입도공업화계단.개소료비초격광재미납가공영역적일사연구정황,분별취비초격광소식미가공이급쌍광자취합가공진행료천술.최후분석료비초격광미가공목전존재적문제급미래발전적주요방향.