合肥工业大学学报（自然科学版）
閤肥工業大學學報（自然科學版）
합비공업대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF HEFEI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE)
2014年
5期
534-537
,共4页
张学科%李合琴%周矗%颜毓雷%王伟%乔恺
張學科%李閤琴%週矗%顏毓雷%王偉%喬愷
장학과%리합금%주촉%안육뢰%왕위%교개
晶态WO3 薄膜%射频磁控反应溅射%透过率%电致变色
晶態WO3 薄膜%射頻磁控反應濺射%透過率%電緻變色
정태WO3 박막%사빈자공반응천사%투과솔%전치변색
crystalline WO3 thin film%radio frequency (RF ) reactive magnetron sputtering%transmit-tance%electrochromism
文章用射频磁控反应溅射法，以钨靶为溅射靶材，在玻璃和ITO衬底上分别制备了WO3薄膜，氧气和氩气的流量比值为5∶25，工作气压为1.5 Pa ，所有样品均进行了400℃保温1 h的退火。通过改变溅射功率，研究了功率对WO3薄膜的相组成、表面形貌、可见光透过率的影响，最终得到溅射功率为100～70 W的WO3晶态薄膜的电致变色性能最好。
文章用射頻磁控反應濺射法，以鎢靶為濺射靶材，在玻璃和ITO襯底上分彆製備瞭WO3薄膜，氧氣和氬氣的流量比值為5∶25，工作氣壓為1.5 Pa ，所有樣品均進行瞭400℃保溫1 h的退火。通過改變濺射功率，研究瞭功率對WO3薄膜的相組成、錶麵形貌、可見光透過率的影響，最終得到濺射功率為100～70 W的WO3晶態薄膜的電緻變色性能最好。
문장용사빈자공반응천사법，이오파위천사파재，재파리화ITO츤저상분별제비료WO3박막，양기화아기적류량비치위5∶25，공작기압위1.5 Pa ，소유양품균진행료400℃보온1 h적퇴화。통과개변천사공솔，연구료공솔대WO3박막적상조성、표면형모、가견광투과솔적영향，최종득도천사공솔위100～70 W적WO3정태박막적전치변색성능최호。
Using the tungsten with purity of 99.99% as target ,WO3 thin film was deposited on glass and ITO substrates by radio frequency (RF) reactive magnetron sputtering method .The flow ratio of O2 to Ar was 5∶25 ,and the pressure was 1.5 Pa .All samples were annealed at 400 ℃ for 1 h .The influence of different input power on the phase composition ,morphology and visible light transmit-tance of WO3 thin film was investigated .The experimental result indicates that the electrochromic property of crystalline WO3 thin film is the best when the input power is 100 W firstly ,and then 70 W .
