宿州学院学报
宿州學院學報
숙주학원학보
JOURNAL OF SUZHOU COLLEGE
2013年
1期
69-70
,共2页
直流磁控溅射%氧空位%亲水性%氧氩比%溅射功率
直流磁控濺射%氧空位%親水性%氧氬比%濺射功率
직류자공천사%양공위%친수성%양아비%천사공솔
用直流磁控溅射制备TiO2薄膜,分析了氧氩比和溅射功率两项制备参数对退火后形成的锐钛矿二氧化钛薄膜亲水性的影响.实验结果表明,适中的氧氩比2∶3和功率126W下制备的薄膜具有很好的亲水性.
用直流磁控濺射製備TiO2薄膜,分析瞭氧氬比和濺射功率兩項製備參數對退火後形成的銳鈦礦二氧化鈦薄膜親水性的影響.實驗結果錶明,適中的氧氬比2∶3和功率126W下製備的薄膜具有很好的親水性.
용직류자공천사제비TiO2박막,분석료양아비화천사공솔량항제비삼수대퇴화후형성적예태광이양화태박막친수성적영향.실험결과표명,괄중적양아비2∶3화공솔126W하제비적박막구유흔호적친수성.
