机械设计与研究
機械設計與研究
궤계설계여연구
MACHINE DESIGN AND RESEARCH
2013年
2期
21-25
,共5页
平面型%磁悬浮%结构%分散控制
平麵型%磁懸浮%結構%分散控製
평면형%자현부%결구%분산공제
针对微电子加工等超精密制造领域高精度和超洁净等要求,提出了一种平面型磁悬浮平台.介绍了平台的结构及工作原理,通过电磁力的优化计算得到系统的等效质量,建立了系统分散控制的动态等效单自由度模型.讨论了系统刚度阻尼和控制系统之间的关系,在此基础上确定了各控制参数随平台运动位置的函数关系.最后给出了平台的悬浮波形,仿真结果表明,在动态控制参数下,系统超调量更小;实验结果表明,系统动态响应快,具有良好的悬浮性能,鲁棒性强.
針對微電子加工等超精密製造領域高精度和超潔淨等要求,提齣瞭一種平麵型磁懸浮平檯.介紹瞭平檯的結構及工作原理,通過電磁力的優化計算得到繫統的等效質量,建立瞭繫統分散控製的動態等效單自由度模型.討論瞭繫統剛度阻尼和控製繫統之間的關繫,在此基礎上確定瞭各控製參數隨平檯運動位置的函數關繫.最後給齣瞭平檯的懸浮波形,倣真結果錶明,在動態控製參數下,繫統超調量更小;實驗結果錶明,繫統動態響應快,具有良好的懸浮性能,魯棒性彊.
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