中国有色金属学报（英文版）
中國有色金屬學報（英文版）
중국유색금속학보（영문판）
TRANSACTIONS OF NONFERROUS METALS SOCIETY OF CHINA
2013年
3期
667-673
,共7页
刘学璋%魏秋平%翟豪%余志明
劉學璋%魏鞦平%翟豪%餘誌明
류학장%위추평%적호%여지명
金刚石膜%镍过渡层%铜基底%化学气相沉积%形核动力学%表面改性
金剛石膜%鎳過渡層%銅基底%化學氣相沉積%形覈動力學%錶麵改性
금강석막%얼과도층%동기저%화학기상침적%형핵동역학%표면개성
diamond film%nickel interlayer%Cu substrate%chemical vapor deposition%nucleation kinetics%surface modification
在铜基底溅射约100 nm厚的镍改性层,然后置入纳米金刚石悬浮液中超声震荡加载籽晶,随后在热丝化学气相沉积设备中制备出晶体颗粒接近热力学平衡形态的高质量金刚石膜,其中sp2碳相含量低于5.56％.分别采用激光拉曼光谱、扫描电镜与X射线衍射对金刚石膜的形核与生长进行研究.实验结果表明:在溅射有镍改性层的铜基底上,金刚石的形核密度比在无改性层的铜基底上的形核密度高10倍.镍改性层的增强机制主要来源于两个方面:镍改性层的纳米级粗糙表面增强金刚石籽晶颗粒的吸附；镍改性层的强催化效应加速铜基底上金刚石形核生长所需的石墨过渡层的形成,从而促进金刚石的快速形核.
在銅基底濺射約100 nm厚的鎳改性層,然後置入納米金剛石懸浮液中超聲震盪加載籽晶,隨後在熱絲化學氣相沉積設備中製備齣晶體顆粒接近熱力學平衡形態的高質量金剛石膜,其中sp2碳相含量低于5.56％.分彆採用激光拉曼光譜、掃描電鏡與X射線衍射對金剛石膜的形覈與生長進行研究.實驗結果錶明:在濺射有鎳改性層的銅基底上,金剛石的形覈密度比在無改性層的銅基底上的形覈密度高10倍.鎳改性層的增彊機製主要來源于兩箇方麵:鎳改性層的納米級粗糙錶麵增彊金剛石籽晶顆粒的吸附；鎳改性層的彊催化效應加速銅基底上金剛石形覈生長所需的石墨過渡層的形成,從而促進金剛石的快速形覈.
재동기저천사약100 nm후적얼개성층,연후치입납미금강석현부액중초성진탕가재자정,수후재열사화학기상침적설비중제비출정체과립접근열역학평형형태적고질량금강석막,기중sp2탄상함량저우5.56％.분별채용격광랍만광보、소묘전경여X사선연사대금강석막적형핵여생장진행연구.실험결과표명:재천사유얼개성층적동기저상,금강석적형핵밀도비재무개성층적동기저상적형핵밀도고10배.얼개성층적증강궤제주요래원우량개방면:얼개성층적납미급조조표면증강금강석자정과립적흡부；얼개성층적강최화효응가속동기저상금강석형핵생장소수적석묵과도층적형성,종이촉진금강석적쾌속형핵.
