中国化工贸易
中國化工貿易
중국화공무역
CHINA CHEMICAL TRADE
2014年
14期
125-126
,共2页
李瑞栋%宋娴%陈福
李瑞棟%宋嫻%陳福
리서동%송한%진복
多晶硅%三氯氢硅合成%硅粉%除尘%优化
多晶硅%三氯氫硅閤成%硅粉%除塵%優化
다정규%삼록경규합성%규분%제진%우화
本文主要介绍了三氯氢硅合成工艺、三氯氢硅除尘的原理，三氯氢硅合成实际运行过程中的除尘情况及原因分析；提出改进三氯氢硅合成工艺中除尘效果的一些意见和措施。
本文主要介紹瞭三氯氫硅閤成工藝、三氯氫硅除塵的原理，三氯氫硅閤成實際運行過程中的除塵情況及原因分析；提齣改進三氯氫硅閤成工藝中除塵效果的一些意見和措施。
본문주요개소료삼록경규합성공예、삼록경규제진적원리，삼록경규합성실제운행과정중적제진정황급원인분석；제출개진삼록경규합성공예중제진효과적일사의견화조시。
