西安交通大学学报
西安交通大學學報
서안교통대학학보
JOURNAL OF XI'AN JIAOTONG UNIVERSITY
2013年
5期
99-103
,共5页
钟丽红%王昭%汤善治%高建民%郭俊杰
鐘麗紅%王昭%湯善治%高建民%郭俊傑
종려홍%왕소%탕선치%고건민%곽준걸
滚转角%1/2波片%运动误差%测量误差
滾轉角%1/2波片%運動誤差%測量誤差
곤전각%1/2파편%운동오차%측량오차
为研究正交偏振光相位法测量机床滚转角过程中,机床的俯仰、偏摆运动误差对测量精度的影响,建立了测量光路数学模型,利用琼斯矩阵法计算光路中光的偏振态变换过程,并推导出被测滚转角与相位变化量间的测量公式.在此基础上,采用光的偏振和晶体光学理论,分析了测量过程中机床俯仰、偏摆运动误差造成的敏感元件(即1/2波片)倾斜所引起的测量误差.分析结果表明,1/2波片在倾斜角度小于2°的情况下所引起的测量误差小于0.1％,对测量精度影响较小,从而论证了正交偏振光相位法高精度测量机床滚转角的可行性.
為研究正交偏振光相位法測量機床滾轉角過程中,機床的俯仰、偏襬運動誤差對測量精度的影響,建立瞭測量光路數學模型,利用瓊斯矩陣法計算光路中光的偏振態變換過程,併推導齣被測滾轉角與相位變化量間的測量公式.在此基礎上,採用光的偏振和晶體光學理論,分析瞭測量過程中機床俯仰、偏襬運動誤差造成的敏感元件(即1/2波片)傾斜所引起的測量誤差.分析結果錶明,1/2波片在傾斜角度小于2°的情況下所引起的測量誤差小于0.1％,對測量精度影響較小,從而論證瞭正交偏振光相位法高精度測量機床滾轉角的可行性.
위연구정교편진광상위법측량궤상곤전각과정중,궤상적부앙、편파운동오차대측량정도적영향,건립료측량광로수학모형,이용경사구진법계산광로중광적편진태변환과정,병추도출피측곤전각여상위변화량간적측량공식.재차기출상,채용광적편진화정체광학이론,분석료측량과정중궤상부앙、편파운동오차조성적민감원건(즉1/2파편)경사소인기적측량오차.분석결과표명,1/2파편재경사각도소우2°적정황하소인기적측량오차소우0.1％,대측량정도영향교소,종이론증료정교편진광상위법고정도측량궤상곤전각적가행성.
