兵工学报
兵工學報
병공학보
ACTA ARMAMENTARII
2014年
5期
634-639
,共6页
卢冲赢%徐立新%李建华%付博%欧修龙
盧遲贏%徐立新%李建華%付博%歐脩龍
로충영%서립신%리건화%부박%구수룡
兵器科学与技术%微机电系统%CMOS兼容工艺%悬浮片上螺旋电感%Q值%无线电引信
兵器科學與技術%微機電繫統%CMOS兼容工藝%懸浮片上螺鏇電感%Q值%無線電引信
병기과학여기술%미궤전계통%CMOS겸용공예%현부편상라선전감%Q치%무선전인신
ordnance science and technology%micro-electro-mechanical system%COMS-compatible process%suspended on-chip spiral inductor%Q-factor%radio fuze
利用微机电系统(MEMS)表面微加工技术设计并制作了一种应用于无线电引信射频前端的CMOS兼容高Q值悬浮片上螺旋电感.电感的制作工艺在热预算和材料选择上均具有良好的CMOS兼容特性.通过采用铜金属悬浮线圈结构减小了片上螺旋电感损耗因素,显著提高了片上螺旋电感Q值.采用电磁场有限元分析软件HFSS对该电感模型进行了仿真研究,完成了悬浮片上螺旋电感的制备并进行了测量.测量结果表明:所设计的CMOS兼容MEMS悬浮片上螺旋电感Q值在1～7.6GHz测量频段均大于20,在7.4 GHz频段最大值达到了38.
利用微機電繫統(MEMS)錶麵微加工技術設計併製作瞭一種應用于無線電引信射頻前耑的CMOS兼容高Q值懸浮片上螺鏇電感.電感的製作工藝在熱預算和材料選擇上均具有良好的CMOS兼容特性.通過採用銅金屬懸浮線圈結構減小瞭片上螺鏇電感損耗因素,顯著提高瞭片上螺鏇電感Q值.採用電磁場有限元分析軟件HFSS對該電感模型進行瞭倣真研究,完成瞭懸浮片上螺鏇電感的製備併進行瞭測量.測量結果錶明:所設計的CMOS兼容MEMS懸浮片上螺鏇電感Q值在1～7.6GHz測量頻段均大于20,在7.4 GHz頻段最大值達到瞭38.
이용미궤전계통(MEMS)표면미가공기술설계병제작료일충응용우무선전인신사빈전단적CMOS겸용고Q치현부편상라선전감.전감적제작공예재열예산화재료선택상균구유량호적CMOS겸용특성.통과채용동금속현부선권결구감소료편상라선전감손모인소,현저제고료편상라선전감Q치.채용전자장유한원분석연건HFSS대해전감모형진행료방진연구,완성료현부편상라선전감적제비병진행료측량.측량결과표명:소설계적CMOS겸용MEMS현부편상라선전감Q치재1～7.6GHz측량빈단균대우20,재7.4 GHz빈단최대치체도료38.
