三峡大学学报（自然科学版）
三峽大學學報（自然科學版）
삼협대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF CHINA THREE GORGES UNIVERSITY(NATURAL SCIENCES)
2012年
6期
89-92
,共4页
杨英%孙小华%李修能%侯爽
楊英%孫小華%李脩能%侯爽
양영%손소화%리수능%후상
钛酸锶铅钡%镁掺杂%溶胶凝胶%介电性能
鈦痠鍶鉛鋇%鎂摻雜%溶膠凝膠%介電性能
태산송연패%미참잡%용효응효%개전성능
采用Sol-Gel法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备出未掺杂和掺杂Mg的(Ba0.5Sr0.5)0.85Pb0.15-TiO3薄膜.采用XRD、SEM和Agilent 4294A精密阻抗分析仪研究了Mg掺杂量对薄膜的结晶性,表面形貌和介电性能的影响.结果表明:随着Mg掺杂量的增加,PBST薄膜的介电常数减小,介电损耗降低,介电调谐量先减少后增加.当Mg掺杂量为0.8mol％时,PBST薄膜具有最大的优值因子.
採用Sol-Gel法在Pt/Ti/SiO2/Si襯底上製備齣未摻雜和摻雜Mg的(Ba0.5Sr0.5)0.85Pb0.15-TiO3薄膜.採用XRD、SEM和Agilent 4294A精密阻抗分析儀研究瞭Mg摻雜量對薄膜的結晶性,錶麵形貌和介電性能的影響.結果錶明:隨著Mg摻雜量的增加,PBST薄膜的介電常數減小,介電損耗降低,介電調諧量先減少後增加.噹Mg摻雜量為0.8mol％時,PBST薄膜具有最大的優值因子.
채용Sol-Gel법재Pt/Ti/SiO2/Si츤저상제비출미참잡화참잡Mg적(Ba0.5Sr0.5)0.85Pb0.15-TiO3박막.채용XRD、SEM화Agilent 4294A정밀조항분석의연구료Mg참잡량대박막적결정성,표면형모화개전성능적영향.결과표명:수착Mg참잡량적증가,PBST박막적개전상수감소,개전손모강저,개전조해량선감소후증가.당Mg참잡량위0.8mol％시,PBST박막구유최대적우치인자.
