中国有色金属学报（英文版）
中國有色金屬學報（英文版）
중국유색금속학보（영문판）
TRANSACTIONS OF NONFERROUS METALS SOCIETY OF CHINA
2012年
8期
1801-1809
,共9页
陈勇军%Jarle HJELEN%Hans J.ROVEN
陳勇軍%Jarle HJELEN%Hans J.ROVEN
진용군%Jarle HJELEN%Hans J.ROVEN
电子背散射技术(EBSD)%试样制备%参数优化%扫描步长%大塑性变形(SPD)
電子揹散射技術(EBSD)%試樣製備%參數優化%掃描步長%大塑性變形(SPD)
전자배산사기술(EBSD)%시양제비%삼수우화%소묘보장%대소성변형(SPD)
electron backscatter diffraction (EBSD)%sample preparation%parameters optimization%step size%severe plastic deformation (SPD)
在场发射扫描电镜的帮助下,电子背散射技术(EBSD)能用来研究大小低达几(十)纳米的晶粒(或亚晶粒),其角分辨率达～0.5°.EBSD技术的快速发展(电子衍射花样的采集速度已高达1100点/s)使其相关领域的科技论文发表数量迅速增加.本文评述了EBSD的试样制备、参数优化和数据分析,特别是在大塑性变形(SPD)制备超细晶和纳米材料方面的应用.总结了电化学抛光、二氧化硅乳液机械抛光和离子束抛光等EBSD试样制备技术的优缺点和实用参数.结果表明,离子束抛光技术是一项通用的、几乎适用于所有EBSD试样的有效抛光方法.随着EBSD扫描步长的变化,花样的标定率存在一个极大值.最优化的EBSD扫描步长取决于试样图片的放大倍数和数据采集板的分辨率(或电子步长).对晶粒和亚晶粒、织构和晶界结构等进行分析是EBSD的基本功能.EBSD也可对塑性变形的应变和存储能等进行分析.
在場髮射掃描電鏡的幫助下,電子揹散射技術(EBSD)能用來研究大小低達幾(十)納米的晶粒(或亞晶粒),其角分辨率達～0.5°.EBSD技術的快速髮展(電子衍射花樣的採集速度已高達1100點/s)使其相關領域的科技論文髮錶數量迅速增加.本文評述瞭EBSD的試樣製備、參數優化和數據分析,特彆是在大塑性變形(SPD)製備超細晶和納米材料方麵的應用.總結瞭電化學拋光、二氧化硅乳液機械拋光和離子束拋光等EBSD試樣製備技術的優缺點和實用參數.結果錶明,離子束拋光技術是一項通用的、幾乎適用于所有EBSD試樣的有效拋光方法.隨著EBSD掃描步長的變化,花樣的標定率存在一箇極大值.最優化的EBSD掃描步長取決于試樣圖片的放大倍數和數據採集闆的分辨率(或電子步長).對晶粒和亞晶粒、織構和晶界結構等進行分析是EBSD的基本功能.EBSD也可對塑性變形的應變和存儲能等進行分析.
재장발사소묘전경적방조하,전자배산사기술(EBSD)능용래연구대소저체궤(십)납미적정립(혹아정립),기각분변솔체～0.5°.EBSD기술적쾌속발전(전자연사화양적채집속도이고체1100점/s)사기상관영역적과기논문발표수량신속증가.본문평술료EBSD적시양제비、삼수우화화수거분석,특별시재대소성변형(SPD)제비초세정화납미재료방면적응용.총결료전화학포광、이양화규유액궤계포광화리자속포광등EBSD시양제비기술적우결점화실용삼수.결과표명,리자속포광기술시일항통용적、궤호괄용우소유EBSD시양적유효포광방법.수착EBSD소묘보장적변화,화양적표정솔존재일개겁대치.최우화적EBSD소묘보장취결우시양도편적방대배수화수거채집판적분변솔(혹전자보장).대정립화아정립、직구화정계결구등진행분석시EBSD적기본공능.EBSD야가대소성변형적응변화존저능등진행분석.
