氯碱工业
氯堿工業
록감공업
CHLOR-ALKALI INDUSTRY
2012年
9期
31-33
,共3页
多晶硅%氢气%三氯氢硅%质量%影响因素
多晶硅%氫氣%三氯氫硅%質量%影響因素
다정규%경기%삼록경규%질량%영향인소
在三氯氢硅加氢还原生产多晶硅过程中,影响产品品质的因素有:三氯氢硅提纯、三氯氢硅加氢还原和外来杂质等.多晶硅分析要求精度高而分析方法中存在不足,建议从整个多晶硅生产工艺来分析和判断多晶硅杂质产生的原因.
在三氯氫硅加氫還原生產多晶硅過程中,影響產品品質的因素有:三氯氫硅提純、三氯氫硅加氫還原和外來雜質等.多晶硅分析要求精度高而分析方法中存在不足,建議從整箇多晶硅生產工藝來分析和判斷多晶硅雜質產生的原因.
재삼록경규가경환원생산다정규과정중,영향산품품질적인소유:삼록경규제순、삼록경규가경환원화외래잡질등.다정규분석요구정도고이분석방법중존재불족,건의종정개다정규생산공예래분석화판단다정규잡질산생적원인.