氯碱工业
氯堿工業
록감공업
CHLOR-ALKALI INDUSTRY
2012年
9期
28-30
,共3页
陈其国%钟真武%高建%于伟华%陈文龙%江宏富
陳其國%鐘真武%高建%于偉華%陳文龍%江宏富
진기국%종진무%고건%우위화%진문룡%강굉부
多晶硅%改良西门子法%节能降耗
多晶硅%改良西門子法%節能降耗
다정규%개량서문자법%절능강모
探讨改良西门子法多晶硅工艺中副产物的综合利用、优化沉积工艺、优化与开发新型高效节能大型还原炉和新型高反射涂层等技术对多晶硅生产中节能降耗的影响,指出将目前已普遍使用和发展成熟的过程强化技术应用于多晶硅制备,可进一步降低多晶硅的制备成本.
探討改良西門子法多晶硅工藝中副產物的綜閤利用、優化沉積工藝、優化與開髮新型高效節能大型還原爐和新型高反射塗層等技術對多晶硅生產中節能降耗的影響,指齣將目前已普遍使用和髮展成熟的過程彊化技術應用于多晶硅製備,可進一步降低多晶硅的製備成本.
탐토개량서문자법다정규공예중부산물적종합이용、우화침적공예、우화여개발신형고효절능대형환원로화신형고반사도층등기술대다정규생산중절능강모적영향,지출장목전이보편사용화발전성숙적과정강화기술응용우다정규제비,가진일보강저다정규적제비성본.
