仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2012年
11期
2523-2528
,共6页
夏前亮%陈智军%张小宁%阮鹏%付大丰%王萌阳
夏前亮%陳智軍%張小寧%阮鵬%付大豐%王萌暘
하전량%진지군%장소저%원붕%부대봉%왕맹양
乐甫波%液体介电常数%相位差测量%幅频特性测量
樂甫波%液體介電常數%相位差測量%幅頻特性測量
악보파%액체개전상수%상위차측량%폭빈특성측량
与声表面波器件和兰姆波器件相比,乐甫波器件用于液体检测时有其独特的优势.从液体的波动特性入手,建立了“压电基片-非压电薄膜-液体”3层结构的乐甫波理论模型;基于上述模型,以钽酸锂作为压电基片材料,SU-8光刻胶作为薄膜材料,实际制作了乐甫波器件;基于相位差测量方法和幅频特性测量方法搭建了测试电路,并针对不同比例的纯水和酒精混合溶液进行了测试,实验结果表明了乐甫波器件测试系统应用于液体介电常数检测的有效性.
與聲錶麵波器件和蘭姆波器件相比,樂甫波器件用于液體檢測時有其獨特的優勢.從液體的波動特性入手,建立瞭“壓電基片-非壓電薄膜-液體”3層結構的樂甫波理論模型;基于上述模型,以鐽痠鋰作為壓電基片材料,SU-8光刻膠作為薄膜材料,實際製作瞭樂甫波器件;基于相位差測量方法和幅頻特性測量方法搭建瞭測試電路,併針對不同比例的純水和酒精混閤溶液進行瞭測試,實驗結果錶明瞭樂甫波器件測試繫統應用于液體介電常數檢測的有效性.
여성표면파기건화란모파기건상비,악보파기건용우액체검측시유기독특적우세.종액체적파동특성입수,건립료“압전기편-비압전박막-액체”3층결구적악보파이론모형;기우상술모형,이단산리작위압전기편재료,SU-8광각효작위박막재료,실제제작료악보파기건;기우상위차측량방법화폭빈특성측량방법탑건료측시전로,병침대불동비례적순수화주정혼합용액진행료측시,실험결과표명료악보파기건측시계통응용우액체개전상수검측적유효성.
