仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2012年
11期
2446-2453
,共8页
吴森%陈庆超%张超%傅星%胡晓东%胡小唐
吳森%陳慶超%張超%傅星%鬍曉東%鬍小唐
오삼%진경초%장초%부성%호효동%호소당
原子力显微镜%悬臂梁%弹性常数%标定%天平%光杠杆
原子力顯微鏡%懸臂樑%彈性常數%標定%天平%光槓桿
원자력현미경%현비량%탄성상수%표정%천평%광강간
原子力显微镜(atomic force microscopy,AFM)在微纳米尺度力学测量领域有着广泛应用,其微悬臂梁探针的弹性常数是直接影响测量结果准确性的关键因素之一.弯曲法是标定微悬臂梁弹性常数的一类重要方法,基于弯曲标定原理提出了一种新的技术实现方案,并研制了相应的标定系统.借助精密运动定位台使微悬臂梁接触超精密天平并产生弯曲,分别以天平和光杠杆机构同步测得接触力和梁的弯曲量,再根据胡克定律直接算得弹性常数.利用所研制的系统对多种型号的微悬臂梁进行了标定,实验结果表明该系统具有良好的准确性和重复性,测量相对标准差小于5％.
原子力顯微鏡(atomic force microscopy,AFM)在微納米呎度力學測量領域有著廣汎應用,其微懸臂樑探針的彈性常數是直接影響測量結果準確性的關鍵因素之一.彎麯法是標定微懸臂樑彈性常數的一類重要方法,基于彎麯標定原理提齣瞭一種新的技術實現方案,併研製瞭相應的標定繫統.藉助精密運動定位檯使微懸臂樑接觸超精密天平併產生彎麯,分彆以天平和光槓桿機構同步測得接觸力和樑的彎麯量,再根據鬍剋定律直接算得彈性常數.利用所研製的繫統對多種型號的微懸臂樑進行瞭標定,實驗結果錶明該繫統具有良好的準確性和重複性,測量相對標準差小于5％.
원자력현미경(atomic force microscopy,AFM)재미납미척도역학측량영역유착엄범응용,기미현비량탐침적탄성상수시직접영향측량결과준학성적관건인소지일.만곡법시표정미현비량탄성상수적일류중요방법,기우만곡표정원리제출료일충신적기술실현방안,병연제료상응적표정계통.차조정밀운동정위태사미현비량접촉초정밀천평병산생만곡,분별이천평화광강간궤구동보측득접촉력화량적만곡량,재근거호극정률직접산득탄성상수.이용소연제적계통대다충형호적미현비량진행료표정,실험결과표명해계통구유량호적준학성화중복성,측량상대표준차소우5％.
