科学与财富
科學與財富
과학여재부
SCIENCES & WEALTH
2012年
11期
289
,共1页
化学气相沉积%镀膜机%温度%气体流量%控制%精度
化學氣相沉積%鍍膜機%溫度%氣體流量%控製%精度
화학기상침적%도막궤%온도%기체류량%공제%정도
为克服传统的化学气相镀膜机电气控制缺点,开发了一套基于可编程控制器的化学气相沉积镀膜机控制系统.描述了该镀膜机控制系统的硬件结构和软件功能.对气体流量、基片温度及开关量的控制效果进行了大量的实验研究.结果表明:基片温度控制精度达到±1℃、工作(反应)气体的流量控制精度达到10mL、可以进行精确的开关量控制.应用表明:该控制系统可以实时监控并保证镀膜机的可靠运行.
為剋服傳統的化學氣相鍍膜機電氣控製缺點,開髮瞭一套基于可編程控製器的化學氣相沉積鍍膜機控製繫統.描述瞭該鍍膜機控製繫統的硬件結構和軟件功能.對氣體流量、基片溫度及開關量的控製效果進行瞭大量的實驗研究.結果錶明:基片溫度控製精度達到±1℃、工作(反應)氣體的流量控製精度達到10mL、可以進行精確的開關量控製.應用錶明:該控製繫統可以實時鑑控併保證鍍膜機的可靠運行.
위극복전통적화학기상도막궤전기공제결점,개발료일투기우가편정공제기적화학기상침적도막궤공제계통.묘술료해도막궤공제계통적경건결구화연건공능.대기체류량、기편온도급개관량적공제효과진행료대량적실험연구.결과표명:기편온도공제정도체도±1℃、공작(반응)기체적류량공제정도체도10mL、가이진행정학적개관량공제.응용표명:해공제계통가이실시감공병보증도막궤적가고운행.
