计量学报
計量學報
계량학보
ACTA METROLOGICA SINICA
2013年
1期
11-15
,共5页
马建荣%郝群%朱秋东%胡摇
馬建榮%郝群%硃鞦東%鬍搖
마건영%학군%주추동%호요
计量学%逆向哈特曼%面形测量%非球面%球坐标
計量學%逆嚮哈特曼%麵形測量%非毬麵%毬坐標
계량학%역향합특만%면형측량%비구면%구좌표
提出一种基于球坐标的逆向哈特曼面形测量法,能够有效地降低非球面测量时的光线斜率,同时提高哈特曼法测量的动态范围和空间分辨率.利用该方法对口径340 mm非球面度较大的表面进行仿真测量,结果显示面形测量误差可保证在λ/10以内,高于直角坐标下的测量精度.该方法可用于光学生产现场对产品进行快速高精度测量,测量成本低.
提齣一種基于毬坐標的逆嚮哈特曼麵形測量法,能夠有效地降低非毬麵測量時的光線斜率,同時提高哈特曼法測量的動態範圍和空間分辨率.利用該方法對口徑340 mm非毬麵度較大的錶麵進行倣真測量,結果顯示麵形測量誤差可保證在λ/10以內,高于直角坐標下的測量精度.該方法可用于光學生產現場對產品進行快速高精度測量,測量成本低.
제출일충기우구좌표적역향합특만면형측량법,능구유효지강저비구면측량시적광선사솔,동시제고합특만법측량적동태범위화공간분변솔.이용해방법대구경340 mm비구면도교대적표면진행방진측량,결과현시면형측량오차가보증재λ/10이내,고우직각좌표하적측량정도.해방법가용우광학생산현장대산품진행쾌속고정도측량,측량성본저.
