照明工程学报
照明工程學報
조명공정학보
CHINA ILLUMINATING ENGINEERING JOURNAL
2013年
2期
53-57
,共5页
王国贵%高益庆%肖孟超%罗宁宁%王彬%万军
王國貴%高益慶%肖孟超%囉寧寧%王彬%萬軍
왕국귀%고익경%초맹초%라저저%왕빈%만군
紫外LED%光刻光源%光束整形%照明系统
紫外LED%光刻光源%光束整形%照明繫統
자외LED%광각광원%광속정형%조명계통
紫外LED光刻光源具有价格低廉、体积小、能耗低、寿命长、环保等诸多优点,因而近年来受到国内外学者的广泛关注.本文简要分析光刻光源系统的结构,归纳紫外LED光刻光源的特点,详细阐述现阶段国内外对紫外LED光刻光源系统的最新研究进展及成果,通过对系统输出光特性的综合分析与讨论全面综述了紫外LED光刻光源系统的光学设计方法,为紫外LED应用于高端微加工设备的进一步研究提供有益参考.
紫外LED光刻光源具有價格低廉、體積小、能耗低、壽命長、環保等諸多優點,因而近年來受到國內外學者的廣汎關註.本文簡要分析光刻光源繫統的結構,歸納紫外LED光刻光源的特點,詳細闡述現階段國內外對紫外LED光刻光源繫統的最新研究進展及成果,通過對繫統輸齣光特性的綜閤分析與討論全麵綜述瞭紫外LED光刻光源繫統的光學設計方法,為紫外LED應用于高耑微加工設備的進一步研究提供有益參攷.
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