计量学报
計量學報
계량학보
ACTA METROLOGICA SINICA
2013年
2期
122-127
,共6页
黄雷%马宏%马钟焕%杨璐
黃雷%馬宏%馬鐘煥%楊璐
황뢰%마굉%마종환%양로
计量学%单频激光干涉仪%非线性误差%最优控制优化调校%干涉条纹对比度%灵敏度
計量學%單頻激光榦涉儀%非線性誤差%最優控製優化調校%榦涉條紋對比度%靈敏度
계량학%단빈격광간섭의%비선성오차%최우공제우화조교%간섭조문대비도%령민도
为减小非线性误差对单频激光干涉仪测量精度及稳定性的影响,分析了引起其非线性误差的各种因素.利用琼斯矩阵推导出该系统光学参量的数学表达式.采用常规的优化调校方法提高系统精度会带来其它参数性能降低.提出改善单频激光干涉仪性能的最优控制优化调校方法.实验结果表明,采用该调校方法,使单频激光干涉仪信号的正交性、干涉条纹对比度和灵敏度均得到了一定程度的优化,干涉条纹对比度vimax,o可达到0.97,并且两路信号对1/8波片转角的4倍周期也变为2倍周期.
為減小非線性誤差對單頻激光榦涉儀測量精度及穩定性的影響,分析瞭引起其非線性誤差的各種因素.利用瓊斯矩陣推導齣該繫統光學參量的數學錶達式.採用常規的優化調校方法提高繫統精度會帶來其它參數性能降低.提齣改善單頻激光榦涉儀性能的最優控製優化調校方法.實驗結果錶明,採用該調校方法,使單頻激光榦涉儀信號的正交性、榦涉條紋對比度和靈敏度均得到瞭一定程度的優化,榦涉條紋對比度vimax,o可達到0.97,併且兩路信號對1/8波片轉角的4倍週期也變為2倍週期.
위감소비선성오차대단빈격광간섭의측량정도급은정성적영향,분석료인기기비선성오차적각충인소.이용경사구진추도출해계통광학삼량적수학표체식.채용상규적우화조교방법제고계통정도회대래기타삼수성능강저.제출개선단빈격광간섭의성능적최우공제우화조교방법.실험결과표명,채용해조교방법,사단빈격광간섭의신호적정교성、간섭조문대비도화령민도균득도료일정정도적우화,간섭조문대비도vimax,o가체도0.97,병차량로신호대1/8파편전각적4배주기야변위2배주기.
