传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2013年
2期
293-296
,共4页
孙凤鸣%傅星%朱振宇%高赛%张超
孫鳳鳴%傅星%硃振宇%高賽%張超
손봉명%부성%주진우%고새%장초
MEMS位移传感器%静电梳齿结构%微扫描探针测头%SPM应用
MEMS位移傳感器%靜電梳齒結構%微掃描探針測頭%SPM應用
MEMS위이전감기%정전소치결구%미소묘탐침측두%SPM응용
对一种基于MEMS技术的探针进行开发,以实现微纳米尺度下的几何量测量.该探针是静电梳齿型结构,含有定齿和连接有主梁的动齿.主梁顶端的探针能够感知样品表面形貌而引起梳齿间位移,梳齿间位移能够带来梳齿间电容的变化.设计了测头的电容信号检测电路.搭建测试系统,利用该系统进行进针实验,标定测头的灵敏度为0.43 mV/nm,实验表明测头的非线性误差小于0.22％.利用该测头作为SPM测头,搭建小型SPM系统,对108 nm台阶高度的光栅结构进行了扫描.
對一種基于MEMS技術的探針進行開髮,以實現微納米呎度下的幾何量測量.該探針是靜電梳齒型結構,含有定齒和連接有主樑的動齒.主樑頂耑的探針能夠感知樣品錶麵形貌而引起梳齒間位移,梳齒間位移能夠帶來梳齒間電容的變化.設計瞭測頭的電容信號檢測電路.搭建測試繫統,利用該繫統進行進針實驗,標定測頭的靈敏度為0.43 mV/nm,實驗錶明測頭的非線性誤差小于0.22％.利用該測頭作為SPM測頭,搭建小型SPM繫統,對108 nm檯階高度的光柵結構進行瞭掃描.
대일충기우MEMS기술적탐침진행개발,이실현미납미척도하적궤하량측량.해탐침시정전소치형결구,함유정치화련접유주량적동치.주량정단적탐침능구감지양품표면형모이인기소치간위이,소치간위이능구대래소치간전용적변화.설계료측두적전용신호검측전로.탑건측시계통,이용해계통진행진침실험,표정측두적령민도위0.43 mV/nm,실험표명측두적비선성오차소우0.22％.이용해측두작위SPM측두,탑건소형SPM계통,대108 nm태계고도적광책결구진행료소묘.
