传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2013年
2期
182-186
,共5页
MEMS%DRIE%侧壁表面压阻%位移检测%参数优化
MEMS%DRIE%側壁錶麵壓阻%位移檢測%參數優化
MEMS%DRIE%측벽표면압조%위이검측%삼수우화
为了提高MEMS执行器件对面内运动位移(或力学信号)检测的灵敏度并改善侧壁检测电阻制作工艺与其他工艺及其不同器件结构之间的兼容性问题,提出一种基于离子注入工艺和深度反应离子刻蚀(DRIE)工艺相结合制作检测梁侧壁压阻的方法.在此基础上,详细分析了影响位移检测灵敏度和分辨率的各种因素,并对侧壁压阻的结构尺寸及其工艺参数进行优化.最后,给出了侧壁表面压阻在几种不同类型典型MEMS执行器件中的应用,取得了很好的应用效果.
為瞭提高MEMS執行器件對麵內運動位移(或力學信號)檢測的靈敏度併改善側壁檢測電阻製作工藝與其他工藝及其不同器件結構之間的兼容性問題,提齣一種基于離子註入工藝和深度反應離子刻蝕(DRIE)工藝相結閤製作檢測樑側壁壓阻的方法.在此基礎上,詳細分析瞭影響位移檢測靈敏度和分辨率的各種因素,併對側壁壓阻的結構呎吋及其工藝參數進行優化.最後,給齣瞭側壁錶麵壓阻在幾種不同類型典型MEMS執行器件中的應用,取得瞭很好的應用效果.
위료제고MEMS집행기건대면내운동위이(혹역학신호)검측적령민도병개선측벽검측전조제작공예여기타공예급기불동기건결구지간적겸용성문제,제출일충기우리자주입공예화심도반응리자각식(DRIE)공예상결합제작검측량측벽압조적방법.재차기출상,상세분석료영향위이검측령민도화분변솔적각충인소,병대측벽압조적결구척촌급기공예삼수진행우화.최후,급출료측벽표면압조재궤충불동류형전형MEMS집행기건중적응용,취득료흔호적응용효과.
