CAJ | 학술논문

以近场辐射传热方式利用光电器件中的热能制作热光电器件从而提高光电器件转换效率的思想已经被提出.基于该思想本文设计一种具有面对面平行悬空薄膜的新型MEMS器件,两悬空薄膜的间距为1μm.通过每个悬空薄膜中白金薄膜电阻,薄膜可以升温并同时测温.在存在近场辐射传热和不存在近场辐射传热两种情况下,加热下方的薄膜到相同温度需要不同的加热功率,通过实验测量这个功率差可以测量出薄膜间的近场辐射热功率,通过将实验数据与相同条件下黑体辐射传热功率比较,表明薄膜间存在近场辐射传热；并且,当上方薄膜温度为317.2 K时,通过近场辐射传热可以使下方薄膜的温度从293 K升高294.2 K,该温升为热电转换提供了条件.
이근장복사전열방식이용광전기건중적열능제작열광전기건종이제고광전기건전환효솔적사상이경피제출.기우해사상본문설계일충구유면대면평행현공박막적신형MEMS기건,량현공박막적간거위1μm.통과매개현공박막중백금박막전조,박막가이승온병동시측온.재존재근장복사전열화불존재근장복사전열량충정황하,가열하방적박막도상동온도수요불동적가열공솔,통과실험측량저개공솔차가이측량출박막간적근장복사열공솔,통과장실험수거여상동조건하흑체복사전열공솔비교,표명박막간존재근장복사전열；병차,당상방박막온도위317.2 K시,통과근장복사전열가이사하방박막적온도종293 K승고294.2 K,해온승위열전전환제공료조건.