PET衬底上ITO薄膜的制备及光电性能
PET츤저상ITO박막적제비급광전성능
Preparation and Photoelectric Properties of ITO Films Deposited on PET Substrate
  • 万方数据
    材料工程 재료공정
    JOURNAL OF MATERIALS ENGINEERING
    2014年 3期 71-76 ,共6页

    杨坤%胡志强%徐书林%王海权%于洋%刘贵山%姜妍彦%张海涛

    양곤%호지강%서서림%왕해권%우양%류귀산%강연언%장해도

    脉冲磁控溅射%氧化铟锡薄膜%PET 脈遲磁控濺射%氧化銦錫薄膜%PET
    맥충자공천사%양화인석박막%PET
    pulsed magnetron sputter%ITO film%PET
    用脉冲磁控溅射法在柔性衬底聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)上制备了氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜,研究了溅射气压、时间和衬底温度等工艺条件对ITO薄膜光电性能的影响,并采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)对薄膜的物相结构与表面形貌进行了分析.结果表明:薄膜的平均晶粒尺寸随衬底温度的升高而增大;当溅射时间增加时,方块电阻与光透过率均减小;当衬底温度升高时,方块电阻减小,可见光透过率增大.
    용맥충자공천사법재유성츤저취대분이갑산을이순지(PET)상제비료양화인석(ITO)투명도전박막,연구료천사기압、시간화츤저온도등공예조건대ITO박막광전성능적영향,병채용X사선연사의(XRD)、소묘전경(SEM)대박막적물상결구여표면형모진행료분석.결과표명:박막적평균정립척촌수츤저온도적승고이증대;당천사시간증가시,방괴전조여광투과솔균감소;당츤저온도승고시,방괴전조감소,가견광투과솔증대.
    원문보기 원문다운로드 사이트로이동
저자의 최근 논문