哈尔滨理工大学学报
哈爾濱理工大學學報
합이빈리공대학학보
JOURNAL OF HARBIN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
2014年
1期
108-111
,共4页
贾相华%黄海亮%付斯年%朱瑞华%左桂鸿%曹洪忠%李月英
賈相華%黃海亮%付斯年%硃瑞華%左桂鴻%曹洪忠%李月英
가상화%황해량%부사년%주서화%좌계홍%조홍충%리월영
ZnO薄膜%衬底温度%光致发光谱
ZnO薄膜%襯底溫度%光緻髮光譜
ZnO박막%츤저온도%광치발광보
ZnO thin film%substrate temperature%photoluminescence
利用磁控溅射在玻璃基片上制备了不同衬底温度下的ZnO薄膜,借助X射线衍射仪(XRD)、吸收光谱、光致发光谱(PL)等手段研究了衬底温度对ZnO薄膜的微结构、光致发光性能的影响.结果表明:所有样品均呈现ZnO六角纤锌矿结构且具有高度c轴择优取向;ZnO薄膜在可见区的吸收系数很小,在紫外区有很高的吸收系数;室温下的荧光光谱显示薄膜具有较强的紫光发射.
利用磁控濺射在玻璃基片上製備瞭不同襯底溫度下的ZnO薄膜,藉助X射線衍射儀(XRD)、吸收光譜、光緻髮光譜(PL)等手段研究瞭襯底溫度對ZnO薄膜的微結構、光緻髮光性能的影響.結果錶明:所有樣品均呈現ZnO六角纖鋅礦結構且具有高度c軸擇優取嚮;ZnO薄膜在可見區的吸收繫數很小,在紫外區有很高的吸收繫數;室溫下的熒光光譜顯示薄膜具有較彊的紫光髮射.
이용자공천사재파리기편상제비료불동츤저온도하적ZnO박막,차조X사선연사의(XRD)、흡수광보、광치발광보(PL)등수단연구료츤저온도대ZnO박막적미결구、광치발광성능적영향.결과표명:소유양품균정현ZnO륙각섬자광결구차구유고도c축택우취향;ZnO박막재가견구적흡수계수흔소,재자외구유흔고적흡수계수;실온하적형광광보현시박막구유교강적자광발사.
