仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2014年
4期
98-101,105
,共5页
微机电%扭转微镜%电容%吸合角
微機電%扭轉微鏡%電容%吸閤角
미궤전%뉴전미경%전용%흡합각
MEMS%torsional micromirror%capacitor%pull-in angle
采用对比扭转微镜的静电力矩与机械回复力矩随角度的变化规律的方法,对串联电容后,扭转微镜吸合角的变化规律进行了数值仿真和解析分析.结果表明:扭转微镜在保持尺寸参数的前提下,串联电容后,其吸合角增大,系统稳定性提高;串联的电容值不同,扭转微镜的吸合角也不同,且随着串联电容值的增大,吸合角逐渐减小.为扭转微镜在尺寸参数已经固定的情况下,如何扩展其偏转角范围提供了理论指导.
採用對比扭轉微鏡的靜電力矩與機械迴複力矩隨角度的變化規律的方法,對串聯電容後,扭轉微鏡吸閤角的變化規律進行瞭數值倣真和解析分析.結果錶明:扭轉微鏡在保持呎吋參數的前提下,串聯電容後,其吸閤角增大,繫統穩定性提高;串聯的電容值不同,扭轉微鏡的吸閤角也不同,且隨著串聯電容值的增大,吸閤角逐漸減小.為扭轉微鏡在呎吋參數已經固定的情況下,如何擴展其偏轉角範圍提供瞭理論指導.
채용대비뉴전미경적정전력구여궤계회복력구수각도적변화규률적방법,대천련전용후,뉴전미경흡합각적변화규률진행료수치방진화해석분석.결과표명:뉴전미경재보지척촌삼수적전제하,천련전용후,기흡합각증대,계통은정성제고;천련적전용치불동,뉴전미경적흡합각야불동,차수착천련전용치적증대,흡합각축점감소.위뉴전미경재척촌삼수이경고정적정황하,여하확전기편전각범위제공료이론지도.
