无机化学学报
無機化學學報
무궤화학학보
JOURNAL OF INORGANIC CHEMISTRY
2014年
5期
1212-1220
,共9页
储晓菲%贺蕴秋%李一鸣%黄河洲%刘德宇%陈慧敏%李文有
儲曉菲%賀蘊鞦%李一鳴%黃河洲%劉德宇%陳慧敏%李文有
저효비%하온추%리일명%황하주%류덕우%진혜민%리문유
导电%透明%薄膜%溶胶-凝胶法
導電%透明%薄膜%溶膠-凝膠法
도전%투명%박막%용효-응효법
conducting%transparent%films%sol-gel
采用溶胶-凝胶法(Sol-Gel)和旋涂法制备了未掺杂的ZnSnO3薄膜和掺入不同物质的量的Sb的ZnSnO3薄膜.采用X射线衍射(XRD)、场发射扫描电镜(FE-SEM)、X射线光电子能谱(XPS)、霍尔效应仪(Hall)以及紫外-可见光(UV-Vis)等表征了热处理后薄膜的晶相、微观形貌、晶格缺陷、电学性能以及紫外-可见光透过率.结果表明:所有薄膜都是ZnSnO3结构;与未掺Sb的ZnSnO3薄膜相比,掺入Sb后的ZnSnO3薄膜的电阻率都有不同程度的降低,其中掺入8mol％Sb的薄膜具有最低的电阻率0.96 Ω·cm;缺陷研究表明:Sb的掺人使得晶格中的间隙锌离子含量增加,这有利于薄膜电阻率的降低;薄膜的紫外-可见光(UV-Vis)表明:在波长大于475 nm的可见光范围内,掺人Sb的ZnSnO3薄膜的可见光透过率都在80％以上.
採用溶膠-凝膠法(Sol-Gel)和鏇塗法製備瞭未摻雜的ZnSnO3薄膜和摻入不同物質的量的Sb的ZnSnO3薄膜.採用X射線衍射(XRD)、場髮射掃描電鏡(FE-SEM)、X射線光電子能譜(XPS)、霍爾效應儀(Hall)以及紫外-可見光(UV-Vis)等錶徵瞭熱處理後薄膜的晶相、微觀形貌、晶格缺陷、電學性能以及紫外-可見光透過率.結果錶明:所有薄膜都是ZnSnO3結構;與未摻Sb的ZnSnO3薄膜相比,摻入Sb後的ZnSnO3薄膜的電阻率都有不同程度的降低,其中摻入8mol％Sb的薄膜具有最低的電阻率0.96 Ω·cm;缺陷研究錶明:Sb的摻人使得晶格中的間隙鋅離子含量增加,這有利于薄膜電阻率的降低;薄膜的紫外-可見光(UV-Vis)錶明:在波長大于475 nm的可見光範圍內,摻人Sb的ZnSnO3薄膜的可見光透過率都在80％以上.
채용용효-응효법(Sol-Gel)화선도법제비료미참잡적ZnSnO3박막화참입불동물질적량적Sb적ZnSnO3박막.채용X사선연사(XRD)、장발사소묘전경(FE-SEM)、X사선광전자능보(XPS)、곽이효응의(Hall)이급자외-가견광(UV-Vis)등표정료열처리후박막적정상、미관형모、정격결함、전학성능이급자외-가견광투과솔.결과표명:소유박막도시ZnSnO3결구;여미참Sb적ZnSnO3박막상비,참입Sb후적ZnSnO3박막적전조솔도유불동정도적강저,기중참입8mol％Sb적박막구유최저적전조솔0.96 Ω·cm;결함연구표명:Sb적참인사득정격중적간극자리자함량증가,저유리우박막전조솔적강저;박막적자외-가견광(UV-Vis)표명:재파장대우475 nm적가견광범위내,참인Sb적ZnSnO3박막적가견광투과솔도재80％이상.
