微电子学
微電子學
미전자학
MICROELECTRONICS
2013年
6期
832-836,849
,共6页
微机电系统%集成微系统%智能微系统
微機電繫統%集成微繫統%智能微繫統
미궤전계통%집성미계통%지능미계통
Micro-electro-mechanical-system (MEMS)%Integrated microsystem%Intelligent microsystem
微系统研究始于军事领域,在其早期是指“微机电系统”(MEMS).微机电系统随着集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展.随着技术的不断进步,微机电系统已更多地集成了生物、光学、计算、软件等多种技术或元件,并朝着具有感知、处理、控制、通信、致动等功能的智能化集成微系统发展.以MEMS为主流产品的微系统已大量进入消费、工业、汽车、医疗等民用市场,其在军事领域的应用研究也愈加广泛和深入.讨论了微系统的内涵,集成微系统的发展现状、发展趋势和关键技术,指出促进我国集成微系统技术和产业发展的关键点.
微繫統研究始于軍事領域,在其早期是指“微機電繫統”(MEMS).微機電繫統隨著集成電路微細加工技術和超精密機械加工技術的髮展而髮展.隨著技術的不斷進步,微機電繫統已更多地集成瞭生物、光學、計算、軟件等多種技術或元件,併朝著具有感知、處理、控製、通信、緻動等功能的智能化集成微繫統髮展.以MEMS為主流產品的微繫統已大量進入消費、工業、汽車、醫療等民用市場,其在軍事領域的應用研究也愈加廣汎和深入.討論瞭微繫統的內涵,集成微繫統的髮展現狀、髮展趨勢和關鍵技術,指齣促進我國集成微繫統技術和產業髮展的關鍵點.
미계통연구시우군사영역,재기조기시지“미궤전계통”(MEMS).미궤전계통수착집성전로미세가공기술화초정밀궤계가공기술적발전이발전.수착기술적불단진보,미궤전계통이경다지집성료생물、광학、계산、연건등다충기술혹원건,병조착구유감지、처리、공제、통신、치동등공능적지능화집성미계통발전.이MEMS위주유산품적미계통이대량진입소비、공업、기차、의료등민용시장,기재군사영역적응용연구야유가엄범화심입.토론료미계통적내함,집성미계통적발전현상、발전추세화관건기술,지출촉진아국집성미계통기술화산업발전적관건점.
