基于二维SEM图像的纳米操作三维信息提取
기우이유SEM도상적납미조작삼유신식제취
3D Information Extraction of Nanomanipulation Based on 2D SEM Images
  • 万方数据
    哈尔滨理工大学学报 합이빈리공대학학보
    JOURNAL OF HARBIN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
    2013年 6期 29-33,37 ,共6页

    李东洁%邹佳鸥%宋鉴%张丽

    리동길%추가구%송감%장려

    纳米操作%信息提取%SEM图像 納米操作%信息提取%SEM圖像
    납미조작%신식제취%SEM도상
    nanomanipulation%information extraction%SEM images
    针对基于SEM的遥控纳米操作系统中快速有效的获取探针的平面及深度信息这一问题,提出了边缘检测算法+遍历比较+预测补偿的方法对探针的X-Y方向位置信息进行提取.通过对SEM二维图像隐含信息的统计分析,提出了基于兴趣区域的灰度方差统计对探针Z向位置(深度)进行提取的方法.最后,对某次纳米线转移实验中采集到的实时SEM图像进行探针针尖的x-y方向信息提取及Z向位置与图像方差进行MATLAB拟合,证明了上述方法的合理性及有效性.
    침대기우SEM적요공납미조작계통중쾌속유효적획취탐침적평면급심도신식저일문제,제출료변연검측산법+편력비교+예측보상적방법대탐침적X-Y방향위치신식진행제취.통과대SEM이유도상은함신식적통계분석,제출료기우흥취구역적회도방차통계대탐침Z향위치(심도)진행제취적방법.최후,대모차납미선전이실험중채집도적실시SEM도상진행탐침침첨적x-y방향신식제취급Z향위치여도상방차진행MATLAB의합,증명료상술방법적합이성급유효성.
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