哈尔滨理工大学学报
哈爾濱理工大學學報
합이빈리공대학학보
JOURNAL OF HARBIN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
2013年
6期
5-9
,共5页
化学气相沉积%沉积效率%石英玻璃
化學氣相沉積%沉積效率%石英玻璃
화학기상침적%침적효솔%석영파리
chemical vapor deposition%deposition efficiency%silica glass
为提高CVD合成石英玻璃的沉积效率,对不同氢氧焰入射角的工况进行了试验和数值模拟,比较并分析了沉积效率的变化规律和二氧化硅微粒的沉积机制.结果表明:数值模拟与试验测得的沉积效率基本吻合;近沉积面的速度分布决定了二氧化硅微粒的沉积分布,二氧化硅微粒沉积的主要机制为湍流沉积,热泳沉积起协助作用;氢氧焰入射角不同,近沉积面的速度分布和沉积面的高温区域均有明显差异,入射角过大或过小,都会造成二氧化硅微粒沉积位置和沉积面高温区的重合区域减小,降低沉积效率.入射角度为22°时,沉积效率最高(71％).
為提高CVD閤成石英玻璃的沉積效率,對不同氫氧燄入射角的工況進行瞭試驗和數值模擬,比較併分析瞭沉積效率的變化規律和二氧化硅微粒的沉積機製.結果錶明:數值模擬與試驗測得的沉積效率基本吻閤;近沉積麵的速度分佈決定瞭二氧化硅微粒的沉積分佈,二氧化硅微粒沉積的主要機製為湍流沉積,熱泳沉積起協助作用;氫氧燄入射角不同,近沉積麵的速度分佈和沉積麵的高溫區域均有明顯差異,入射角過大或過小,都會造成二氧化硅微粒沉積位置和沉積麵高溫區的重閤區域減小,降低沉積效率.入射角度為22°時,沉積效率最高(71％).
위제고CVD합성석영파리적침적효솔,대불동경양염입사각적공황진행료시험화수치모의,비교병분석료침적효솔적변화규률화이양화규미립적침적궤제.결과표명:수치모의여시험측득적침적효솔기본문합;근침적면적속도분포결정료이양화규미립적침적분포,이양화규미립침적적주요궤제위단류침적,열영침적기협조작용;경양염입사각불동,근침적면적속도분포화침적면적고온구역균유명현차이,입사각과대혹과소,도회조성이양화규미립침적위치화침적면고온구적중합구역감소,강저침적효솔.입사각도위22°시,침적효솔최고(71％).
