电子测量与仪器学报
電子測量與儀器學報
전자측량여의기학보
JOURNAL OF ELECTRONIC MEASUREMENT AND INSTRUMENT
2013年
12期
1141-1147
,共7页
接触电容%传感器%压力测量%温度效应%运算放大器
接觸電容%傳感器%壓力測量%溫度效應%運算放大器
접촉전용%전감기%압력측량%온도효응%운산방대기
touch-mode capacitance%sensor%pressure test%temperature effect%op-amp
介绍了一种基于SOI/硅片键合技术制作的接触电容式高温压力传感器结构,并对传感器的测试装置、测试方法进行详细的介绍后,对传感器进行压力测试和温度特性测试.压力测试结果表明,传感器线性工作区压力为110 ～280 kPa,灵敏度约为0.14 pF/kPa;温度特性测试结果表明,传感器具有正温度效应,在30～300℃,传感器输出误差约为0.5％.文中还分析了热胀冷缩及介电常数温度系数对传感器温度效应的影响,以及设计了参考电容及运算放大器式传感器测量电路来消除温度效应.
介紹瞭一種基于SOI/硅片鍵閤技術製作的接觸電容式高溫壓力傳感器結構,併對傳感器的測試裝置、測試方法進行詳細的介紹後,對傳感器進行壓力測試和溫度特性測試.壓力測試結果錶明,傳感器線性工作區壓力為110 ～280 kPa,靈敏度約為0.14 pF/kPa;溫度特性測試結果錶明,傳感器具有正溫度效應,在30～300℃,傳感器輸齣誤差約為0.5％.文中還分析瞭熱脹冷縮及介電常數溫度繫數對傳感器溫度效應的影響,以及設計瞭參攷電容及運算放大器式傳感器測量電路來消除溫度效應.
개소료일충기우SOI/규편건합기술제작적접촉전용식고온압력전감기결구,병대전감기적측시장치、측시방법진행상세적개소후,대전감기진행압력측시화온도특성측시.압력측시결과표명,전감기선성공작구압력위110 ～280 kPa,령민도약위0.14 pF/kPa;온도특성측시결과표명,전감기구유정온도효응,재30～300℃,전감기수출오차약위0.5％.문중환분석료열창랭축급개전상수온도계수대전감기온도효응적영향,이급설계료삼고전용급운산방대기식전감기측량전로래소제온도효응.
