传感器世界
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전감기세계
SENSOR WORLD
2013年
12期
7-10
,共4页
MEMS%光开关%气膜阻尼%雷诺方程
MEMS%光開關%氣膜阻尼%雷諾方程
MEMS%광개관%기막조니%뢰낙방정
基于MEMS技术的光开关是光通信领域实现全光交换的核心器件.针对一种常用的静电扭转驱动光开关,基于流体动力学方程,采用格林函数(Green's function)分析了压膜阻尼系数的解析求解方法,并以流场分析技术进行了气体压强分布仿真,进而求解压膜阻尼,运用解析计算与数值仿真得到的参数进行系统仿真与实验数据比对,证实了建模的准确性.
基于MEMS技術的光開關是光通信領域實現全光交換的覈心器件.針對一種常用的靜電扭轉驅動光開關,基于流體動力學方程,採用格林函數(Green's function)分析瞭壓膜阻尼繫數的解析求解方法,併以流場分析技術進行瞭氣體壓彊分佈倣真,進而求解壓膜阻尼,運用解析計算與數值倣真得到的參數進行繫統倣真與實驗數據比對,證實瞭建模的準確性.
기우MEMS기술적광개관시광통신영역실현전광교환적핵심기건.침대일충상용적정전뉴전구동광개관,기우류체동역학방정,채용격림함수(Green's function)분석료압막조니계수적해석구해방법,병이류장분석기술진행료기체압강분포방진,진이구해압막조니,운용해석계산여수치방진득도적삼수진행계통방진여실험수거비대,증실료건모적준학성.
